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1. (WO2009132981) CAPTEUR DE PRESSION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/132981    N° de la demande internationale :    PCT/EP2009/054656
Date de publication : 05.11.2009 Date de dépôt international : 20.04.2009
CIB :
G01L 9/00 (2006.01)
Déposants : EPCOS AG [DE/DE]; St.-Martin-Str. 53 81669 München (DE) (Tous Sauf US).
WOHLGEMUTH, Christian [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
THIELE, Peter [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : WOHLGEMUTH, Christian; (DE).
THIELE, Peter; (DE)
Mandataire : EPPING HERMANN FISCHER PATENTANWALTSGESELLSCHAFT MBH; Ridlerstraße 55 80339 München (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2008 021 091.9 28.04.2008 DE
Titre (DE) DRUCKSENSOR
(EN) PRESSURE SENSOR
(FR) CAPTEUR DE PRESSION
Abrégé : front page image
(DE)Es wird ein Drucksensor angegeben, der ein Substrat (1) mit Leiterbahnen (2) zur Kontaktierung von elektrischen Bauelementen (3, 4) aufweist. Der Drucksensor weist ein Messelement (3) zur Umwandlung einer mechanischen Messgröße in ein elektrisches Signal und einen Signalwandler (4) zur weiteren Verarbeitung der elektrischen Signale des Messelements (3) auf. Des Weiteren weist der Drucksensor eine erste Membran (5) auf, die zusammen mit dem Substrat (1) einen ersten geschlossenen Hohlraum (6) bildet, der ein inertes Füllmedium enthält. Das Messelement (3) des Drucksensors weist mit wenigstens einer Seite, die eine aktive Fläche umfasst, einen direkten Kontakt zu dem Füllmedium des ersten Hohlraums (6) auf. Der Signalwandler (4) ist als ungehäuster integrierter Schaltkreis auf dem Substrat (1) angeordnet. Desweiteren kann der Drucksensor zur Messung des Absolutdrucks, des Relativdrucks oder des Differenzdrucks geeignet sein.
(EN)Specified is a pressure sensor having a substrate (1) with conductor tracks (2) for contacting electrical components (3, 4). The pressure sensor has a measurement element (3) for converting a mechanical measurement variable into an electric signal and a signal converter (4) for further processing the electric signals of the measurement element (3). The pressure sensor further has a first membrane (5) which, together with the substrate (1), forms a first closed hollow space (6) which contains an inert fill medium. The measurement element (3) of the pressure sensor has, by way of at least one side which comprises an active surface, direct contact with the fill medium of the first hollow space (6). The signal converter (4) is arranged as an un-housed integrated circuit on the substrate (1). Moreover, the pressure sensor can be suitable for measuring the absolute pressure, the relative pressure or the differential pressure.
(FR)L’invention concerne un capteur de pression qui présente un substrat (1) muni de pistes conductrices (2) pour établir le contact avec des composants électriques (3, 4). Le capteur de pression présente un élément de mesure (3) pour convertir une grandeur de mesure mécanique en un signal électrique et un convertisseur de signal (4) pour le traitement postérieur des signaux électriques de l’élément de mesure (3). De plus, le capteur de pression présente une première membrane (5) qui, en combinaison avec le substrat (1), forme un premier espace creux fermé (6) qui contient un fluide de remplissage inerte. L’élément de mesure (3) du capteur de pression présente, par au moins un côté qui inclut une surface active, un contact direct avec le fluide de remplissage du premier espace creux (6). Le convertisseur de signal (4) est disposé sur le substrat (1) sous la forme d’un circuit intégré sans boîtier. Le capteur de pression peut en outre être conçu pour mesurer la pression absolue, la pression relative ou la pression différentielle.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)