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1. (WO2009132964) AGENCEMENT OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE D'UN OBJET DE MESURE ET AGENCEMENT INTERFÉROMÉTRIQUE POUR LE MESURAGE DE SURFACES D'UN OBJET DE MESURE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/132964    N° de la demande internationale :    PCT/EP2009/054513
Date de publication : 05.11.2009 Date de dépôt international : 16.04.2009
CIB :
G01B 9/02 (2006.01)
Déposants : ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart (DE) (Tous Sauf US).
FLEISCHER, Matthias [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
DRABAREK, Pawel [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : FLEISCHER, Matthias; (DE).
DRABAREK, Pawel; (DE)
Représentant
commun :
ROBERT BOSCH GMBH; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart (DE)
Données relatives à la priorité :
102008001473.7 30.04.2008 DE
Titre (DE) OPTISCHE ANORDNUNG ZUR BELEUCHTUNG EINES MESSOBJEKTES UND INTERFEROMETRISCHE ANORDNUNG ZUR VERMESSUNG VON FLÄCHEN EINES MESSOBJEKTES
(EN) OPTICAL ARRANGEMENT FOR ILLUMINATING A MEASURED OBJECT, AND INTERFEROMETRIC ARRANGEMENT FOR MEASURING SURFACES OF A MEASURED OBJECT
(FR) AGENCEMENT OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE D'UN OBJET DE MESURE ET AGENCEMENT INTERFÉROMÉTRIQUE POUR LE MESURAGE DE SURFACES D'UN OBJET DE MESURE
Abrégé : front page image
(DE)Es wird eine interferometrische Anordnung (300) zur Vermessung von Flächen (281, 282) eines Messobjektes (280) mit einer optischen Anordnung (200) beschrieben. Die optische Anordnung (200) weist einen Strahlteiler (250) auf, der Messstrahlen in einem ersten Strahlengang und Messstrahlen in einem zweiten Strahlengang mit Hilfe zweier Spiegel (260, 270) auf die Flächen (281, 282) des Messobjektes richtet. Die durch die an den Flächen (281, 282) reflektierten Lichtstrahlen gebildeten Strahlengänge decken sich zumindest teilweise in einem Bereich mit gleicher Strahlrichtung. Auf diese Weise werden gemessene Flächen (281, 282) des Messobjektes (280) zumindest teilweise auf eine gleiche bestrahlte Fläche eines Detektors (90), beispielsweise einen Bildaufnehmer, abgebildet.
(EN)The invention relates to an interferometric arrangement (300) for measuring surfaces (281, 282) of a measured object (280), said interferometric arrangement comprising an optical arrangement (200). The optical arrangement (200) comprises a beam splitter (250) which guides working beams towards the surfaces (281, 282) of the measured object in a first beam path and in a second beam path by means of two mirrors (260, 270). The beam paths formed by the light beams reflected on the surfaces (281, 282) at least partially overlap each other in an area with the same beam direction. In this way, measured surfaces (281, 282) of the measured object (280) are imaged at least partially onto an identical irradiated surface of a detector (90), for example, an image recorder.
(FR)Un agencement interférométrique (300) pour le mesurage de surfaces (281, 282) d'un objet de mesure (280) est décrit avec un agencement optique (200). L'agencement optique (200) possède un diviseur de faisceaux (250) qui dirige sur les surfaces (281, 282) de l'objet de mesure des faisceaux de mesure d'un premier trajet de faisceaux et des faisceaux de mesure d'un deuxième trajet de faisceaux à l'aide de deux miroirs (260, 270). Les trajets de faisceaux formés par les faisceaux lumineux réfléchis sur les surfaces (281, 282) se superposent au moins partiellement dans une zone, avec une direction identique. De cette manière, des surfaces mesurées (281, 282) de l'objet de mesure (280) sont au moins partiellement reproduites sur une surface également éclairée d'un détecteur (90), par exemple un imageur.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)