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1. (WO2009132861) BAIN D'ACIDE AQUEUX ET PROCÉDÉ DE DÉPÔT ÉLECTROLYTIQUE DE CUIVRE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/132861    N° de la demande internationale :    PCT/EP2009/003353
Date de publication : 05.11.2009 Date de dépôt international : 27.04.2009
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    11.05.2010    
CIB :
C25D 3/38 (2006.01), H05K 3/24 (2006.01), H05K 3/42 (2006.01), C25D 5/18 (2006.01)
Déposants : ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH [DE/DE]; Erasmusstrasse 20 10553 Berlin (DE) (Tous Sauf US).
BRUNNER, Heiko [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
ROELFS, Bernd [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
ROHDE, Dirk [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
PLIET, Thomas [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : BRUNNER, Heiko; (DE).
ROELFS, Bernd; (DE).
ROHDE, Dirk; (DE).
PLIET, Thomas; (DE)
Mandataire : BRESSEL, Burkhard; Bressel Und Partner Park Kolonnaden Potsdamer Platz 10 10785 Berlin (DE)
Données relatives à la priorité :
08008111.0 28.04.2008 EP
Titre (EN) AQUEOUS, ACID BATH AND METHOD FOR THE ELECTROLYTIC DEPOSITION OF COPPER
(FR) BAIN D'ACIDE AQUEUX ET PROCÉDÉ DE DÉPÔT ÉLECTROLYTIQUE DE CUIVRE
Abrégé : front page image
(EN)To generate a very uniform copper deposit in particular in blind micro vias (BMVs) and trenches, an aqueous, acid bath for the electrolytic deposition of copper is provided, said bath containing at least one copper ion source, at least one acid ion source, at least one brightener compound and at least one leveler compound, wherein at least one leveler compound is selected from the group comprising synthetically produced non-functionalized peptides and synthetically produced functionalized peptides and synthetically produced functionalized amino acids.
(FR)Dans la présente invention, pour produire un dépôt de cuivre très uniforme, notamment dans des tranchées et des microvias borgnes, on utilise un bain d'acide aqueux pour le dépôt électrolytique de cuivre, ledit bain contenant au moins une source d'ions cuivre, au moins une source d'ions acide, au moins un composé brillanteur et au moins un composé de nivellance, ledit ou lesdits composé(s) de nivellance étant sélectionné(s) dans le groupe formé par des peptides non fonctionnalisés produits par synthèse, des peptides fonctionnalisés produits par synthèse et des acides aminés fonctionnalisés produits par synthèse.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)