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1. (WO2009117440) DISTRIBUTEUR À SOUPAPES CHAUFFÉES POUR AMPOULE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/117440    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/037430
Date de publication : 24.09.2009 Date de dépôt international : 17.03.2009
CIB :
H01L 21/205 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 (US) (Tous Sauf US).
CHOI, Kenric [US/US]; (US) (US Seulement).
NGUYEN, Son, T. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : CHOI, Kenric; (US).
NGUYEN, Son, T.; (US)
Mandataire : PATTERSON, B., Todd; (US).
TACKETT, Keith, M.; (US)
Données relatives à la priorité :
61/037,271 17.03.2008 US
Titre (EN) HEATED VALVE MANIFOLD FOR AMPOULE
(FR) DISTRIBUTEUR À SOUPAPES CHAUFFÉES POUR AMPOULE
Abrégé : front page image
(EN)Embodiments of the invention provide an apparatus and a method for generating a gaseous chemical precursor that may be used in a vapor deposition processing system. In one embodiment, the apparatus contains a valve manifold assembly, which includes a valve assembly body having at least one embedded electric heater, an inlet channel passing through the valve assembly body, a first pneumatic valve and a first manual valve coupled to the valve assembly body and positioned to control fluid flow within the inlet channel, an outlet channel passing through the valve assembly body, and a second pneumatic valve and a second manual valve coupled to the valve assembly body and positioned to control fluid flow within the outlet channel. The valve manifold assembly further contains a bypass channel connected to and between the inlet and outlet channels, and containing a bypass valve positioned to control fluid flow within the bypass channel.
(FR)Selon certains modes de réalisation, la présente invention concerne un appareil et un procédé permettant la génération d’un précurseur chimique gazeux qui peut être utilisé dans un système de traitement de dépôt en phase vapeur. Selon un mode de réalisation, l’appareil contient un ensemble de distributeur à soupapes, comportant un corps d’ensemble de soupapes comprenant au moins un filament chauffant électrique incorporé, un canal d’admission traversant le corps d’ensemble de soupapes, une première soupape pneumatique et une première soupape manuelle couplées au corps d’ensemble de soupapes et positionnées pour contrôler un écoulement de fluide dans le canal d’admission, un canal d’évacuation traversant le corps d’ensemble de soupapes, et une seconde soupape pneumatique et une seconde soupape manuelle couplées au corps d’ensemble de soupapes et positionnées pour contrôler l’écoulement de fluide dans le canal d’évacuation. L’ensemble de distributeur à soupapes contient un canal de dérivation relié aux canaux d’admission et d’évacuation et entre ceux-ci, et contenant une soupape de dérivation positionnée pour contrôler l’écoulement de fluide dans le canal de dérivation.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)