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1. (WO2009117252) PROCÉDÉ ET APPAREIL POUR DÉTECTER UN FRACTIONNEMENT NON UNIFORME D’UNE FORME DE PHOTOMASQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/117252    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/036023
Date de publication : 24.09.2009 Date de dépôt international : 04.03.2009
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : SYNOPSYS, INC. [US/US]; 700 E. Middlefield Road Mountain View, CA 94043 (US) (Tous Sauf US).
YEAP, Chee, Peng [MY/US]; (US) (US Seulement).
NOGATCH, John, T. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : YEAP, Chee, Peng; (US).
NOGATCH, John, T.; (US)
Mandataire : YAO, Shun; Park, Vaughan & Fleming LLP 2820 Fifth Street Davis, CA 95618-7759 (US)
Données relatives à la priorité :
61/038,695 21.03.2008 US
12/257,983 24.10.2008 US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING NON-UNIFORM FRACTURING OF A PHOTOMASK SHAPE
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL POUR DÉTECTER UN FRACTIONNEMENT NON UNIFORME D’UNE FORME DE PHOTOMASQUE
Abrégé : front page image
(EN)One embodiment of the present invention provides a system that detects an occurrence of a given shape which has been fractured into a configuration of primitive shapes which is different from a desired configuration. The system selects a fractured-shape instantiation of the given shape, to which other fractured-shape instantiations for the given shape are compared. As a part of the comparison process, the system generates a filtered mask-pattern-description which includes primitive shapes in the mask-pattern-description that match at least one primitive shape in the selected fractured-shape instantiation. Next, the system identifies a first set of shape occurrences from the filtered mask-pattern-description which match the given shape, and identifies a second set of shape occurrences from the mask-pattern-description which match the given shape. The system then generates a third set of shape occurrences by performing an exclusive-OR comparison between the first and second sets of shape occurrences.
(FR)La présente invention, selon un mode de réalisation, concerne un système qui détecte l’occurrence d’une forme donnée qui a été fractionnée en une configuration de formes primitives qui est différente d’une configuration souhaitée. Le système sélectionne une instanciation de forme fractionnée de la forme donnée à laquelle sont comparées d’autres instanciations de forme fractionnée de la forme donnée. Une partie du processus de comparaison consiste pour le système à générer une description de motif de masque filtrée comprenant des formes primitives dans la description de motif de masque qui correspondent à au moins une forme primitive dans l’instanciation de forme fractionnée sélectionnée. Ensuite, le système identifie dans la description de motif de masque filtrée un premier ensemble d'occurrences de forme qui correspondent à la forme donnée, et identifie dans la description de motif de masque un second ensemble d'occurrences de forme qui correspondent à la forme donnée. Le système génère ensuite un troisième ensemble d’occurrences de forme en effectuant une comparaison OU exclusif entre les premier et second ensembles d’occurrences de forme.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)