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1. (WO2009117169) VÉRIFICATEUR DE DÉBIT MASSIQUE DE HAUTE PRÉCISION AVEC ENTRÉES MULTIPLES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/117169    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/031496
Date de publication : 24.09.2009 Date de dépôt international : 21.01.2009
CIB :
G01F 25/00 (2006.01)
Déposants : MKS INSTRUMENTS, INC. [US/US]; 2 Tech Drive, Suite 201, Andover, MA 01810 (US) (Tous Sauf US).
DING, Junhua [US/US]; (US) (US Seulement).
ZARKAR, Kaveh [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : DING, Junhua; (US).
ZARKAR, Kaveh; (US)
Mandataire : KUSMER, Toby, H.; Mcdermott Will & Emery LLP 28 State Street Boston, MA 02109 (US)
Données relatives à la priorité :
12/050,597 18.03.2008 US
Titre (EN) HIGH ACCURACY MASS FLOW VERIFIER WITH MULTIPLE INLETS
(FR) VÉRIFICATEUR DE DÉBIT MASSIQUE DE HAUTE PRÉCISION AVEC ENTRÉES MULTIPLES
Abrégé : front page image
(EN)A high accuracy mass flow verifier (HAMFV) which provides high measurement accuracy over a wide flow verification range with low inlet pressures is disclosed for verifying flow measurement by a fluid delivery device. The HAMFV includes a chamber defining a plurality N of inlets with upstream valves, an outlet with a downstream valve, a pressure sensor and a temperature sensor configured to measure the pressure and the temperature of the fluid within the chamber, respectively. A plurality N of critical flow nozzles is located adjacent to the corresponding upstream valve. The HAMFV further includes a controller configured to activate one of the plurality N of critical flow nozzles based on the desired flow verification range and the fluid type by opening the corresponding upstream valve and closing all other upstream valves. At least two of the plurality N of critical flow nozzles have different cross-sectional areas.
(FR)L'invention concerne un vérificateur de débit massique de précision élevée (HAMFV) qui permet une précision de mesure élevée sur une large plage de vérification de débit à des pressions d'entrée faible et qui vérifie une mesure de débit par un dispositif de distribution de fluide. Le HAMFV comprend une chambre définissant une pluralité N d'entrées avec des soupapes amont, une sortie avec une soupape aval, un capteur de pression et un capteur de température configurés pour mesurer la pression et la température du fluide dans la chambre, respectivement. Une pluralité N de tuyères en régime critique est située à proximité de la soupape amont correspondante. Le HAMFV comprend en outre un dispositif de commande configuré pour activer une tuyère choisie parmi la pluralité N de tuyères en régime critique sur la base de la plage de vérification de débit souhaitée et du type de fluide en ouvrant la soupape amont correspondante et en fermant toutes les autres soupapes amont. Au moins deux tuyères choisies parmi la pluralité N de tuyères en régime critique ont des aires de section transversale différentes.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)