WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2009117103) SYSTÈME D'INSPECTION À CHAMP FRACTIONNÉ UTILISANT DE PETITS OBJECTIFS CATADIOPTRIQUES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/117103    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/001702
Date de publication : 24.09.2009 Date de dépôt international : 17.03.2009
CIB :
G02B 17/00 (2006.01), G01B 11/00 (2006.01), G01N 21/00 (2006.01), G02B 21/00 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), G02B 6/00 (2006.01)
Déposants : KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; One Technology Drive Milpitas, CA 95035 (US) (Tous Sauf US).
ARMSTRONG, Joseph, J. [US/US]; (US) (US Seulement).
CHUANG, Yung-ho [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : ARMSTRONG, Joseph, J.; (US).
CHUANG, Yung-ho; (US)
Mandataire : MCANDREWS, Kevin; KLA-Tencor Corporation One Technology Drive Milpitas, CA 95035 (US)
Données relatives à la priorité :
12/220,983 29.07.2008 US
61/069,997 18.03.2008 US
Titre (EN) SPLIT FIELD INSPECTION SYSTEM USING SMALL CATADIOPTRIC OBJECTIVES
(FR) SYSTÈME D'INSPECTION À CHAMP FRACTIONNÉ UTILISANT DE PETITS OBJECTIFS CATADIOPTRIQUES
Abrégé : front page image
(EN)A system for inspecting a specimen is provided. The system includes an illumination subsystem configured to produce a plurality of channels of light energy, each channel of light energy produced having differing characteristics (type, wavelength, etc.) from at least one other channel of light energy. Optics are configured to receive the plurality of channels of light energy and combine them into a spatially separated combined light energy beam and direct it toward the specimen. A data acquisition subsystem comprising at least one detector is provided, configured to separate reflected light energy into a plurality of received channels corresponding to the plurality of channels of light energy and detect the received channels.
(FR)L'invention porte sur un système pour inspecter un spécimen. Le système comprend un sous-système d'éclairage configuré pour produire une pluralité de canaux d'énergie lumineuse, chaque canal d'énergie lumineuse produit ayant différentes caractéristiques (type, longueur d'onde, etc.) à partir d'au moins un autre canal d'énergie lumineuse. Une optique est configurée pour recevoir la pluralité de canaux d'énergie lumineuse et pour les combiner en un faisceau d'énergie lumineuse combinée, séparée de façon spatiale, et pour le diriger vers le spécimen. Un sous-système d'acquisition de données comportant au moins un détecteur est fourni, configuré pour séparer l'énergie lumineuse réfléchie en une pluralité de canaux reçus correspondant à la pluralité de canaux d'énergie lumineuse et pour détecter les canaux reçus.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)