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1. (WO2009116256) DISPOSITIF DE MICROPHONE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/116256    N° de la demande internationale :    PCT/JP2009/001146
Date de publication : 24.09.2009 Date de dépôt international : 13.03.2009
CIB :
H04R 19/04 (2006.01), H01L 29/84 (2006.01), H04R 3/00 (2006.01)
Déposants : Panasonic Corporation [JP/JP]; 1006, Oaza Kadoma, Kadoma-shi, Osaka, 5718501 (JP) (Tous Sauf US).
KIMURA, Norio; (US Seulement).
OGURA, Hiroshi; (US Seulement).
TAKEUCHI, Yusuke; (US Seulement)
Inventeurs : KIMURA, Norio; .
OGURA, Hiroshi; .
TAKEUCHI, Yusuke;
Mandataire : OGURI, Shohei; Eikoh Patent Firm, 7-13, Nishi-Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo, 1050003 (JP)
Données relatives à la priorité :
2008-072011 19.03.2008 JP
Titre (EN) MICROPHONE DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MICROPHONE
(JA) マイクロホン装置
Abrégé : front page image
(EN)Provided is a highly reliable MEMS microphone which can reduce a noise caused by light, i.e., an acoustic sensor. The microphone device includes: a capacitor unit having a diaphragm (23) as a first electrode, a dielectric film (24) fixed to the diaphragm (23), and a second electrode arranged to oppose to the first electrode; an amplifier (A) which is connected to the first electrode of the capacitor unit and which amplifies a signal from the capacitor unit; a capacitor electrode terminal connected to the second electrode of the capacitor unit; a voltage supply terminal connected to the amplifier; a grounding terminal; and an output terminal from the amplifier; these components being arranged on a semiconductor substrate. The first and the second electrode of the capacitor unit are of the same conductive type as the semiconductor substrate.
(FR)L'invention porte sur un microphone en microsystème électromécanique (MEMS) à haute fiabilité qui peut réduire un bruit causé par de la lumière, c'est-à-dire un capteur acoustique. Le dispositif de microphone comprend : une unité de condensateur ayant une membrane (23) en tant que première électrode, un film diélectrique (24) fixé à la membrane (23), et une seconde électrode agencée pour faire face à la première électrode ; un amplificateur (A) qui est connecté à la première électrode de l'unité de condensateur et qui amplifie un signal provenant de l'unité de condensateur ; une borne d'électrode de condensateur connectée à la seconde électrode de l'unité de condensateur ; une borne d'alimentation en tension connectée à l'amplificateur ; une borne de mise à la masse, et une borne de sortie de l'amplificateur ; ces composants étant agencés sur un substrat semi-conducteur. Les première et seconde électrodes de l'unité de condensateur sont du même type de conductivité que le substrat semi-conducteur.
(JA) 光に起因するノイズを低減し、信頼性の高いMEMSマイクロホン、すなわち音響センサを提供するもので、半導体基板上に、第1の電極としての振動膜23と、前記振動膜23に固着された誘電体膜24と、前記第1の電極に対向して配設された第2の電極とを具備したコンデンサ部と、前記コンデンサ部の前記第1の電極に接続され、前記コンデンサ部からの信号を増幅する増幅器Aと、前記コンデンサ部の第2の電極に接続されるコンデンサ電極端子と、前記増幅器に接続される電圧供給端子と、接地端子と、前記増幅器からの出力端子とを備えたマイクロホン装置であって、前記コンデンサ部の前記第1および第2の電極は、前記半導体基板と同一導電型である。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)