WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2009114798) RÉCIPIENT À PLAQUETTES POURVU DE COMPOSANTS DE CONTRÔLE ENVIRONNEMENTAL TUBULAIRES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/114798    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/037143
Date de publication : 17.09.2009 Date de dépôt international : 13.03.2009
CIB :
H01L 21/673 (2006.01), B65D 85/38 (2006.01), B65D 85/86 (2006.01), B65D 81/18 (2006.01)
Déposants : ENTEGRIS, INC. [US/US]; 129 Concord Road Billerica, Massachusetts 01821 (US) (Tous Sauf US).
WATSON, James, A. [US/US]; (US) (US Seulement).
BURNS, John [US/US]; (US) (US Seulement).
FORBES, Martin, L. [US/US]; (US) (US Seulement).
FULLER, Matthew, A. [US/US]; (US) (US Seulement).
SMITH, Mark, V. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : WATSON, James, A.; (US).
BURNS, John; (US).
FORBES, Martin, L.; (US).
FULLER, Matthew, A.; (US).
SMITH, Mark, V.; (US)
Mandataire : CHRISTENSEN, Douglas, J.; Patterson, Thuente, Skaar & Christensen, P.A. 4800 IDS Center 80 South Eighth Street Minneapolis, MN 55402-2100 (US).
CHADWICK, Eric, H.; Patterson, Thuente, Skaar & Christensen, P.a. 4800 Ids Center 80 South Eighth Street Minneapolis, MN 55402-2100 (US).
BIASCO, Tye; Patterson, Thuente, Skaar & Christensen, P.a. 4800 Ids Center 80 South Eighth Street Minneapolis, MN 55402-2100 (US).
BRAGINSKY, Vadim; Patterson, Thuente, Skaar & Christensen, P.a. 4800 Ids Center 80 South Eighth Street Minneapolis, MN 55402-2100 (US).
BURGESS, Daidre, L.; Patterson, Thuente, Skaar & Christensen, P.a. 4800 Ids Center 80 South Eighth Street Minneapolis, MN 55402-2100 (US)
Données relatives à la priorité :
61/036,353 13.03.2008 US
Titre (EN) WAFER CONTAINER WITH TUBULAR ENVIRONMENTAL CONTROL COMPONENTS
(FR) RÉCIPIENT À PLAQUETTES POURVU DE COMPOSANTS DE CONTRÔLE ENVIRONNEMENTAL TUBULAIRES
Abrégé : front page image
(EN)A wafer container utilizes a rigid polymer tubular tower with slots and a "getter" therein for absorbing and filtering moisture and vapors within the wafer container. The tower preferably utilizes a purge grommet at the base of the container and may have a check valve therein to control the flow direction of gas (including air) into and out of the container and with respect to the tower. The tower is sealingly connected with the grommet. The tower may have a getter media piece rolled in an elongate circular fashion forming or shaped as a tube and disposed within the tower and may have axially extending. The media can provide active and/or passive filtration as well as having capabilities to be recharged. Front opening wafer containers for 300mm sized wafers generally have a pair of recesses on each of the left and right side in the inside rear of the container portions. These recesses are preferably utilized for elongate towers, such towers extending substantially from a bottom wafer position to a top wafer position. In alternative embodiment, a tubular shape of getter material is exposed within the front opening container without containment of the getter other than at the ends. The tubular getter form is preferably supported at discrete locations to maximize exposure to the internal container environment. A blocker member can selectively close the apertures. An elastomeric cap can facilitate securement of the tubular component in the container portion.
(FR)L’invention concerne un récipient à plaquettes utilisant une tour tubulaire en polymère rigide pourvue de fentes et d’un getter pour absorber et filtrer l’humidité et les vapeurs dans ledit récipient à plaquettes. La tour utilise de préférence un raccord de purge à la base du récipient et peut contenir un clapet de retenue pour contrôler la direction d'écoulement du gaz (y compris l’air) rentrant et sortant du récipient, et par rapport à la tour. La tour est connectée hermétiquement au raccord. La tour peut présenter un élément de type getter, laminé de manière circulaire et allongée constituant ou conformé en tube et disposé dans la tour et susceptible de se déployer axialement. Le système getter peut assurer une filtration active et/ou passive avec la capacité de se recharger. Les récipients de plaquettes à ouverture frontale pour des plaquettes de 300mm présentent généralement une paire de retraits sur chacun des côtés gauche et droit dans la partie arrière à l'intérieur des récipients.  Ces retraits s'utilisent de préférence pour les tours allongées, lesdites tours s'étendant sensiblement d’une position de plaquette inférieure vers une position de plaquette supérieure. Selon un autre mode de réalisation, une forme tubulaire du matériau de type getter est exposée dans le récipient à ouverture frontale sans confiner le getter autrement qu’aux extrémités. La forme du getter tubulaire est de préférence maintenue dans des emplacements discrets pour optimiser l’exposition à l’environnement interne du récipient. Un élément bloqueur peut refermer les ouvertures de manière sélective. Un capuchon élastomère peut faciliter la fixation du composant tubulaire dans la partie récipient.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)