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1. (WO2009114193) CHAMBRE DE STOCKAGE DE RÉTICULES SIMPLES ET SON SYSTÈME DE STOCKAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/114193    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/001630
Date de publication : 17.09.2009 Date de dépôt international : 13.03.2009
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    14.12.2009    
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : FORTREND ENGINEERING CORPORATION [US/US]; 610 North Mary Avenue Sunnyvale, CA 94085-2906 (US) (Tous Sauf US).
WU, Kung, Chris [US/US]; (US) (US Seulement).
MORGAN, Richard [GB/US]; (US) (US Seulement).
HUANG, Yuan-Yu; (TW) (US Seulement).
LIU, Shih-Chi; (TW) (US Seulement).
CHANG, Wei-Shiang; (TW) (US Seulement).
KO, Hung-Kun; (TW) (US Seulement)
Inventeurs : WU, Kung, Chris; (US).
MORGAN, Richard; (US).
HUANG, Yuan-Yu; (TW).
LIU, Shih-Chi; (TW).
CHANG, Wei-Shiang; (TW).
KO, Hung-Kun; (TW)
Mandataire : SCHREIBER, Donald, E.; (US)
Données relatives à la priorité :
61/069,444 13.03.2008 US
Titre (EN) BARE RETICLE STORAGE CHAMBER AND STOCKER
(FR) CHAMBRE DE STOCKAGE DE RÉTICULES SIMPLES ET SON SYSTÈME DE STOCKAGE
Abrégé : front page image
(EN)A bare reticle storage chamber and stocker (30) includes a reticle input /output -port pod opener (36) for: 1. accessing a reticle (68) carried within a pod; while 2. maintaining a clean environment around the reticle (68). A reticle transfer area (42) that abuts the pod opener (30) and houses a reticle handling robot (44) that includes an end-effector (162) adapted for receiving and retaining at least one reticle (68). A bare reticle storage chamber (52) also abuts the reticle transfer area (42). The reticle storage chamber (52) houses: 1. a reticle cabinet (62) having reticle storage slots (64) that receive reticles (68); and 2. a plenum (102) that provides a flow of gas about and through the reticle cabinet (62). Abutting the reticle transfer area (42), the reticle storage chamber (52) has an openable and closeable robot access door (74) through which the end-effector (162) of the reticle handling robot (44) accesses the reticle storage slot that is then juxtaposed with the robot access door (74).
(FR)L’invention concerne une chambre de stockage de réticules simples et son système de stockage (30) comprenant un système d’ouverture d’ogive pour port entrée/sortie (36) permettant : 1. d’accéder à un réticule (68) transporté dans une ogive; tout en 2. maintenant un environnement dégagé autour du réticule (68); une zone de transfert de réticule (42) butant contre le système d’ouverture d’ogive (30) et logeant un robot de manipulation de réticule (44) comprenant un effecteur final (162) conçu pour recevoir et retenir au moins un réticule (68); une chambre de stockage de réticules simples (52) s’appuyant également contre la zone de transfert de réticule (42). La chambre de stockage de réticules (52) abrite: 1. une armoire à réticules (62) présentant des fentes de stockage de réticule (64) recevant des réticules (68); et 2. un plénum (102) assurant un flux de gaz autour de et à travers l’armoire de réticules (62). Reposant contre la zone de transfert de réticule (42), la chambre de stockage de réticules (52) présente une porte d’accès robot (74) que l’on peut ouvrir et fermer, à travers laquelle l’effecteur final (162) du robot de manipulation de réticule (44) accède à la fente de stockage de réticule qui est alors juxtaposée par rapport à la porte d’accès robot (74).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)