WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2009113528) APPAREIL DE MESURE DE FORME
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/113528    N° de la demande internationale :    PCT/JP2009/054526
Date de publication : 17.09.2009 Date de dépôt international : 10.03.2009
CIB :
G01B 11/25 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-Chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (Tous Sauf US).
YAMADA, Tomoaki [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : YAMADA, Tomoaki; (JP)
Mandataire : INAMOTO, Yoshio; 711 Building 4F 11-18, Nishi-Shinjuku 7-chome Shinjuku-ku, Tokyo 1600023 (JP)
Données relatives à la priorité :
2008-061139 11.03.2008 JP
Titre (EN) SHAPE MEASURING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE MESURE DE FORME
(JA) 形状測定装置
Abrégé : front page image
(EN)Provided is a shape measuring apparatus having improved measuring accuracy. A liquid crystal element (35) projects, on a subject (2) to be inspected, a stripe-shaped projection pattern wherein intensity is changed, corresponding to positions, in three sine-wave shapes having initial phases of 0, 120 and 240deg. A CCD sensor (44) and a CCD sensor (50) pick up an image formed by reflection light, which is reflected by the subject (2) and formed by the projection pattern. A controller (23) evaluates reliability of measurement results, based on the quantity of light received by each pixel of a plurality of images picked up when at least two projection patterns are projected, at positions along an optical path direction where a conjugation positions with an imaging plane of the imaging means are different. Thus, measuring accuracy is improved. This invention is applicable to the shape measuring apparatus for measuring shapes of subjects to be measured.
(FR)La présente invention concerne un appareil de mesure de forme offrant une précision de mesure améliorée. Un élément à cristaux liquides (35) projette, sur un sujet (2) à inspecter, un motif de projection en forme de bande avec une intensité changée, correspondant à des positions, dans trois formes d'ondes sinusoïdales présentant des phases initiales de 0, 120 et 240 degrés. Un capteur CCD (44) et un capteur CCD (50) captent une image formée par la lumière de réflexion, laquelle est réfléchie par le sujet (2) et formée par le motif de projection. Un contrôleur (23) évalue la fiabilité des résultats de mesure, en se basant sur la quantité de lumière reçue par chaque pixel d'une pluralité d'images captées lorsqu'au moins deux motifs de projection sont projetés, sur des positions le long d'une direction de chemin optique, des positions de conjugaison d'un plan d'imagerie du moyen d'imagerie étant différentes. Ainsi, la précision de mesure est améliorée. Cette invention peut s'appliquer aux appareils de mesure de forme pour mesurer les formes de sujets à mesurer.
(JA) 本発明は、測定精度の向上させることができるようにする形状測定装置に関する。 液晶素子35は、0,120,240degの初期位相を持った3つの正弦波状に位置に応じて強度が変わる縞状の投影パタンを被検物2上に投影し、CCDセンサ44およびCCDセンサ50のそれぞれは、投影した投影パタンによる被検物2からの反射光を結像した像を撮像し、コントローラ23は、光路方向に沿って撮像手段の撮像面と共役な位置が異なる位置で、少なくとも2つの投影パタンを投影したときの撮像した複数の画像の各画素の各々の受光光量に基づいて、測定結果の信頼性を評価する。これにより、測定精度の向上させることができる。本発明は、被検物の形状を測定する形状測定装置に適用できる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)