WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2009113442) MÉCANISME D'INTRODUCTION D'HYPERFRÉQUENCE, SOURCE DE PLASMA HYPERFRÉQUENCE ET APPAREIL DE TRAITEMENT PAR PLASMA HYPERFRÉQUENCE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/113442    N° de la demande internationale :    PCT/JP2009/054158
Date de publication : 17.09.2009 Date de dépôt international : 05.03.2009
CIB :
H01L 21/3065 (2006.01), H05H 1/46 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo, 1076325 (JP) (Tous Sauf US).
IKEDA, Taro [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : IKEDA, Taro; (JP)
Mandataire : TAKAYAMA, Hiroshi; Hirakawacho Tsujita Bldg. 2F, 1-7-20, Hirakawacho Chiyoda-ku, Tokyo, 1020093 (JP)
Données relatives à la priorité :
2008-066277 14.03.2008 JP
Titre (EN) MICROWAVE INTRODUCING MECHANISM, MICROWAVE PLASMA SOURCE AND MICROWAVE PLASMA PROCESSING APPARATUS
(FR) MÉCANISME D'INTRODUCTION D'HYPERFRÉQUENCE, SOURCE DE PLASMA HYPERFRÉQUENCE ET APPAREIL DE TRAITEMENT PAR PLASMA HYPERFRÉQUENCE
(JA) マイクロ波導入機構、マイクロ波プラズマ源およびマイクロ波プラズマ処理装置
Abrégé : front page image
(EN)A microwave introducing mechanism (43) is provided with a cylindrical main body container (50); an inner conductor (52) which is arranged coaxially in the main body container (50) and forms a microwave transmission path (53) between the main body container (50) and the inner conductor; a tuner (44) for adjusting impedance; and an antenna section (45) having an antenna (51) which radiates microwaves transmitted through the microwave transmission path (53) into a chamber. The tuner (44) has slag bodies (58) composed of a pair of dielectric bodies; an actuator (59) which moves the slag bodies (58), and a controller (60). The controller (60) moves the pair of slag bodies (58) within a range of a 1/2 wavelength at the same time, and controls one of the slag bodies (58) to move within a range of a 1/4 wavelength from the other slag body (58).
(FR)L'invention porte sur un mécanisme d'introduction d'hyperfréquence (43) qui comprend un contenant de corps principal cylindrique (50) ; un conducteur interne (52) qui est disposé de façon coaxiale dans le contenant de corps principal (50) et forme un trajet de transmission hyperfréquence (53) entre le contenant de corps principal (50) et le conducteur interne ; un adaptateur d'impédance (44) pour ajuster une impédance ; et une section d'antenne (45) comprenant une antenne (51) qui émet des hyperfréquences transmises par le trajet de transmission d'hyperfréquence (53) dans une chambre. L'adaptateur d'impédance (44) comprend des corps d'adaptation (58) composés d'une paire de corps diélectriques ; un actionneur (59) qui déplace les corps d'adaptation (58), et un dispositif de commande (60). Le dispositif de commande (60) déplace la paire de corps d'adaptation (58) dans un intervalle d'une demi-longueur d'onde en même temps, et commande l'un des corps d'adaptation (58) pour le déplacer dans un intervalle de 1/4 de longueur d'onde par rapport à l'autre corps d'adaptation (58).
(JA) マイクロ波導入機構(43)は、筒状をなす本体容器(50)と、本体容器(50)内に同軸的に設けられ、本体容器(50)との間にマイクロ波伝送路(53)を形成する内側導体(52)と、インピーダンス調整を行うチューナ(44)と、マイクロ波伝送路(53)を伝送されたマイクロ波をチャンバ内に放射するアンテナ(51)を有するアンテナ部(45)とを具備し、チューナ(44)は、一対の誘電体からなるスラグ(58)と、これらスラグ(58)を移動させるアクチュエータ(59)と、コントローラ(60)とを有し、コントローラ(60)は、一対のスラグ(58)を同時に1/2波長の長さ範囲で移動させ、かつスラグ(58)の一方を他方のスラグ(58)に対して1/4波長の範囲で移動させるように制御する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)