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1. (WO2009113400) DISPOSITIF D'ALIMENTATION EN MATIÈRE PREMIÈRE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/113400    N° de la demande internationale :    PCT/JP2009/053543
Date de publication : 17.09.2009 Date de dépôt international : 26.02.2009
CIB :
C23C 16/448 (2006.01), H01L 21/31 (2006.01)
Déposants : MITSUI ENGINEERING & SHIPBUILDING CO., LTD. [JP/JP]; 6-4, Tsukiji 5-chome, Chuo-ku, Tokyo, 1048439 (JP) (Tous Sauf US).
HATTORI, Nozomu [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : HATTORI, Nozomu; (JP)
Mandataire : YAMAKAWA, Masaki; c/o Yamakawa International Patent Office, 4th Floor, Sanno Park Tower, 11-1, Nagatacho 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1006104 (JP)
Données relatives à la priorité :
2008-063076 12.03.2008 JP
Titre (EN) RAW MATERIAL SUPPLYING DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'ALIMENTATION EN MATIÈRE PREMIÈRE
(JA) 原料供給装置
Abrégé : front page image
(EN)A raw material supplying device (105) is provided with introducing piping (152a) for introducing carrier gas into a raw material container (151), conveying piping (152b) for conveying raw material gas led out of the raw material container, supplying piping (155a) branched from the conveying piping and supplying the raw material gas to a film forming chamber (101), circulating piping (155b) branched from the conveying piping (152b) and returning the raw material gas to the introducing piping (152a), an introducing valve (156a) provided in the introducing piping, a supplying valve (156b) provided in the supplying piping, a circulating valve (156c) provided in the circulating piping, and a controlling section (157) for controlling opening and closing of each of the valves. The controlling section controls opening and closing of the supplying valve and the circulating valve into different states. The raw material gas can be more stably supplied with minimum waste of the raw material.
(FR)L'invention porte sur un dispositif d'alimentation en matière première (105). Le dispositif comporte un tuyau d'introduction (152a) pour introduire un gaz porteur dans un contenant de matière première (151) ; un tuyau de transport (152b) pour transporter le gaz contenant la matière première qui sort du contenant de matière première ; un tuyau d'alimentation (155a) qui est raccordé au tuyau de transport et qui délivre le gaz contenant la matière première dans une chambre de formation de film (101) ; un tuyau de circulation (155b) raccordé au tuyau de transport (152b) et qui renvoie le gaz contenant la matière première au tuyau d'introduction (152a) ; une vanne d'introduction (156a) disposée dans le tuyau d'introduction ; une vanne d'alimentation (156b) disposée dans le tuyau d'alimentation ; une vanne de circulation (156c) disposée dans le tuyau de circulation ; et une section de commande (157) pour commander l'ouverture et la fermeture des vannes. La section de commande commande l'ouverture et la fermeture de la vanne d'alimentation et fait changer la vanne de circulation de position. Le gaz contenant la matière première peut être délivré de façon plus stable avec une perte minimale de matière première.
(JA) 原料供給装置(105)は、キャリアガスを原料容器(151)に導入する導入配管(152a)と、原料容器より導出した原料ガスが輸送される輸送配管(152b)と、輸送配管より分岐して原料ガスを成膜室(101)に供給するための供給配管(155a)と、輸送配管(152b)より分岐して原料ガスを導入配管(152a)に戻すための循環配管(155b)と、導入配管に設けられた導入弁(156a)と、供給配管に設けられた供給弁(156b)と、循環配管に設けられた循環弁(156c)と、各弁の開閉を制御する制御部(157)とを備えている。制御部は、供給弁と循環弁との開閉を異なる状態に制御する。これにより、原料の無駄を抑制した状態で、より安定して原料ガスを供給することができる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)