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1. (WO2009112373) MICRODÉTECTEUR COMPORTANT UN ÉLÉMENT DE DÉTECTION À NANOTUBES DE CARBONE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/112373    N° de la demande internationale :    PCT/EP2009/052269
Date de publication : 17.09.2009 Date de dépôt international : 26.02.2009
CIB :
G01D 5/12 (2006.01)
Déposants : SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT [DE/DE]; Wittelsbacherplatz 2 80333 München (DE) (Tous Sauf US).
REZNIK, Daniel [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
STECKENBORN, Arno [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : REZNIK, Daniel; (DE).
STECKENBORN, Arno; (DE)
Représentant
commun :
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT; Postfach 22 16 34 80506 München (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2008 013 624.7 10.03.2008 DE
Titre (DE) MIKROSENSOR MIT EINEM CNT-SENSORELEMENT UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG
(EN) MICRO-SENSOR HAVING A CNT SENSOR ELEMENT AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
(FR) MICRODÉTECTEUR COMPORTANT UN ÉLÉMENT DE DÉTECTION À NANOTUBES DE CARBONE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION
Abrégé : front page image
(DE)Gegenstand der Erfindung ist ein Mikrosensor mit einem CNT (Carbon Nanotube (26)) als Sensorelement und ein Verfahren zu dessen Herstellung. Der CNT-Faden wird erzeugt, indem zwischen zwei Elektroden (21 und 22) ein elektrisches Feld angelegt wird, welches zu einem gerichteten Wachstum des CNT (26) und einer Verbindung mit den Elektrodenflächen (21, 22) führt. Dargestellt ist der erfindungsgemäße Verfahrensschritt, demgemäß von einer Elektrodenfläche (23) und einer Elektrodenfläche (24) zwei weitere CNT (27, 28) wachsen, die sich an beabstandeten Stellen (29, 30) mit dem ersten CNT (26) verbinden. Hierdurch entsteht vorteilhaft der erfindungsgemäße Sensor mit einem CNT-Sensorelement (26), bei dem eine Vierpunktkontaktierung an den Enden bzw. den Stellen (29, 30) möglich ist. Der Vorteil liegt in der Möglichkeit von Messungen, die mit geringeren Messfehlern behaftet sind.
(EN)The object of the invention is an improved micro-sensor having a CNT (carbon nanotube (26)) as a sensor element and a method for the production thereof. The CNT thread is produced in that an electrical field is applied between two electrodes (21 and 22), which results in oriented growth of the CNT (26) and bonding to the electrode surfaces (21, 22). The method step according to the invention is shown, according to which two further CNTs (27, 28), which are connected at spaced-apart points (29, 30) to the first CNT (26), grow from an electrode surface (23) and an electrode surface (24), thereby advantageously resulting in a CNT sensor element (26), in which a four-point contact is possible at the ends and/or the points (29, 30). The advantage is the possibility of minimizing errors in measurement.
(FR)L'invention concerne un microdétecteur amélioré comportant un nanotube de carbone (26) en tant qu'élément de détection et un procédé de fabrication du microdétecteur. Le fil de nanotube de carbone est produit par application d'un champ électrique entre deux électrodes (21, 22), le champ électrique ayant pour effet une croissance ciblée du nanotube de carbone (26) et une liaison avec les surfaces d'électrodes (21, 22). Selon le procédé, deux autres tubes de carbone (27, 28) poussent à partir d'une surface d'électrode (23) et d'une surface d'électrode (24), ceux-ci se liant au premier nanotube de carbone (26) dans des zones espacées (29, 30). Le détecteur selon l'invention, comportant un élément de détection à nanotubes de carbone (26), est ainsi obtenu de manière avantageuse, une mise en contact à quatre points étant possible sur les extrémités ou les zones (29, 30). L'avantage dudit détecteur réside dans la possibilité de réaliser des mesures dont les erreurs de mesures sont réduites.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)