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1. (WO2009111163) SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE CONTRAINTES MÉCANIQUES LOCALES DANS DES DISPOSITIFS INTÉGRÉS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/111163    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/034350
Date de publication : 11.09.2009 Date de dépôt international : 18.02.2009
CIB :
G01N 21/86 (2006.01)
Déposants : INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION [US/US]; New Orchard Road Armonk, NY 10504 (US) (Tous Sauf US).
BUMM, Lloyd [US/US]; (US) (US Seulement).
DAHAYANAKA, Daminda [LK/US]; (US) (US Seulement).
KASZUBA, Philip, V. [US/US]; (US) (US Seulement).
MOSZKOWICZ, Leon [US/US]; (US) (US Seulement).
SLINKMAN, James, A. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : BUMM, Lloyd; (US).
DAHAYANAKA, Daminda; (US).
KASZUBA, Philip, V.; (US).
MOSZKOWICZ, Leon; (US).
SLINKMAN, James, A.; (US)
Mandataire : LESTRANGE, Michael; International Business Machines Corporation, Intellectual Property Law 972E, 1000 River Street, Essex Junction, VT 05452 (US)
Données relatives à la priorité :
12/039,830 29.02.2008 US
Titre (EN) SYSTEM AND METHOD FOR DETECTING LOCAL MECHANICAL STRESS IN INTEGRATED DEVICES
(FR) SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE CONTRAINTES MÉCANIQUES LOCALES DANS DES DISPOSITIFS INTÉGRÉS
Abrégé : front page image
(EN)A method of detecting local mechanical stress in integrated devices is provided, the method comprising: enabling the detection of a photo voltage difference between a scan probe device (14) and a surface portion (30) of an integrated device (18), the scan probe device (14) being configured to deflect in response to the photo voltage difference; measuring the deflection of the scan probe device (14) in response to the photo voltage difference between the scan probe device (14) and the surface portion (30) of the integrated device (18); and calculating a local stress level within the integrated device by determining a local work function of the surface portion (30) of the integrated device (18) based upon the deflection of the scan probe device (14).
(FR)La présente invention concerne un procédé de détection de contraintes mécaniques locales dans des dispositifs intégrés, le procédé comprenant : l'activation de la détection d'une différence de photovoltage entre un dispositif de sonde de balayage (14) et une partie de surface (30) d'un dispositif intégré (18), le dispositif de sonde de balayage (14) étant configuré pour dévier en réponse à la différence de photovoltage; la mesure de la déviation du dispositif de sonde de balayage (14) et de la partie de surface (30) du dispositif intégré (18); et le calcul d'un niveau de contrainte locale dans le dispositif intégré en déterminant un travail local fonction de la partie de surface (30) du dispositif intégré (18) en se basant sur la déviation du dispositif de sonde de balayage (14).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)