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1. (WO2009110599) APPAREIL DE COMMANDE, APPAREIL D'ALIGNEMENT, PROCÉDÉ DE COMMANDE ET APPAREIL DE MESURE ASSOCIÉS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/110599    N° de la demande internationale :    PCT/JP2009/054307
Date de publication : 11.09.2009 Date de dépôt international : 06.03.2009
CIB :
G05D 3/12 (2006.01), G01M 13/02 (2006.01), G05B 13/02 (2006.01), G05D 17/02 (2006.01)
Déposants : National University Corporation Yokohama National University [JP/JP]; 79-1, Tokiwadai, Hodogaya-ku, Yokohama-shi, Kanagawa, 2408501 (JP) (Tous Sauf US).
NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo, 1008331 (JP) (Tous Sauf US).
FUJIMOTO, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
ASAUMI, Hiroyoshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : FUJIMOTO, Hiroshi; (JP).
ASAUMI, Hiroyoshi; (JP)
Mandataire : SHIGA, Masatake; 1-9-2, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo, 1006620 (JP)
Données relatives à la priorité :
2008-056860 06.03.2008 JP
2008-198548 31.07.2008 JP
Titre (EN) CONTROL APPARATUS, ALIGNING APPARATUS, CONTROL METHOD AND MEASURING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE COMMANDE, APPAREIL D'ALIGNEMENT, PROCÉDÉ DE COMMANDE ET APPAREIL DE MESURE ASSOCIÉS
(JA) 制御装置、位置決め装置、制御方法、及び計測装置
Abrégé : front page image
(EN)A control apparatus is provided with an input value generating means for generating a control input value for controlling shift of an object shifting with rolling friction; a correcting means, which sets, as a spring force model, a frictional force of the rolling friction generated when the object shifts, and corrects a control input value based on a transmission coefficient of the model; and a setting means which sets as a variable value, a natural length of a spring in the spring force model. The control apparatus controls shift of the object in accordance with the corrected control input value.
(FR)L'invention concerne un appareil de commande comprenant: un moyen de génération de valeur d'entrée servant à générer une valeur d'entrée de commande pour commander le décalage d'un objet subissant un frottement de roulement pendant son décalage; un moyen de correction qui règle, en tant que modèle de force de ressort, une force de frottement due au frottement de roulement généré pendant les décalages de l'objet, et qui corrige une valeur d'entrée de commande en fonction d'un coefficient de transmission du modèle; et un moyen de réglage qui règle la longueur naturelle d'un ressort, en tant que valeur variable, dans le modèle de force de ressort. L'appareil de commande commande le décalage de l'objet selon la valeur d'entrée de commande corrigée.
(JA) 制御装置は、転がり摩擦を伴って移動する対象物を移動制御するための制御入力値を生成する入力値生成手段と、対象物の移動時に発生する転がり摩擦の摩擦力をばね力としてモデル化し、該モデルの伝達関数に基づき制御入力値を補正する補正手段と、ばね力のモデルにおけるばねの自然長を可変値として設定する設定手段と、を備え、補正された制御入力値に従って対象物を移動制御する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)