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1. (WO2009110180) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN GABARIT ET PROCÉDÉ DE POLISSAGE DANS LEQUEL LE GABARIT EST UTILISÉ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/110180    N° de la demande internationale :    PCT/JP2009/000699
Date de publication : 11.09.2009 Date de dépôt international : 19.02.2009
CIB :
B24B 37/04 (2012.01), H01L 21/304 (2006.01)
Déposants : Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. [JP/JP]; 6-2, Ohtemachi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo, 1000004 (JP) (Tous Sauf US).
ARIGA, Yasuharu [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
SATO, Michito [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : ARIGA, Yasuharu; (JP).
SATO, Michito; (JP)
Mandataire : YOSHIMIYA, Mikio; 1st Shitaya Bldg. 8F, 6-11, Ueno 7-chome, Taito-ku, Tokyo, 1100005 (JP)
Données relatives à la priorité :
2008-054003 04.03.2008 JP
Titre (EN) METHOD FOR MANUFACTURING TEMPLATE AND POLISHING METHOD WHEREIN THE TEMPLATE IS USED
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN GABARIT ET PROCÉDÉ DE POLISSAGE DANS LEQUEL LE GABARIT EST UTILISÉ
(JA) テンプレートの製造方法およびこのテンプレートを用いた研磨方法
Abrégé : front page image
(EN)Provided is a method for manufacturing a template which holds a work at the time of polishing the work. The method has at least a step of preparing a glass epoxy substrate; a step of lapping and/or polishing the glass epoxy substrate; and a step of making a hole on the glass epoxy substrate for holding the work. Thus, the method makes it possible to manufacture the template which can keep in-plane planarity, especially suppress deterioration of the surface shape of the outer circumferential section of the work when the work is polished.
(FR)L'invention porte sur un procédé de fabrication d'un gabarit qui maintient une pièce à travailler lors du polissage de la pièce à travailler. Le procédé comporte au moins une étape de préparation d'un substrat en verre-époxy ; une étape de rodage et/ou polissage du substrat en verre-époxy ; et une étape de réalisation d'un trou sur le substrat en verre-époxy pour maintenir la pièce à travailler. Ainsi, le procédé permet de fabriquer le gabarit qui peut conserver une planéité dans le plan, en particulier supprimer une détérioration de la forme de surface de la section périphérique externe de la pièce à travailler lorsque la pièce à travailler est polie.
(JA) 本発明は、ワークを研磨する際に、前記ワークを保持するためのテンプレートの製造方法であって、少なくとも、ガラスエポキシ基板を準備する工程と、前記ガラスエポキシ基板をラッピングおよび/または研磨する工程と、前記ガラスエポキシ基板にワーク保持用の穴を開ける工程を有することを特徴とするテンプレートの製造方法である。これによって、ワークを研磨した際に、面内の平坦度を高く保つことのできる、特にワーク外周部の表面形状が悪化することを抑制することができるテンプレートの製造方法が提供される。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)