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1. (WO2009110157) MICROSCOPE À SONDE DE BALAYAGE ET PROCÉDÉ D'OBSERVATION D'UN ÉCHANTILLON À L'AIDE DE CELUI-CI
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/110157    N° de la demande internationale :    PCT/JP2008/073074
Date de publication : 11.09.2009 Date de dépôt international : 18.12.2008
CIB :
G01Q 60/06 (2010.01), G01Q 60/18 (2010.01), G01Q 60/22 (2010.01)
Déposants : HITACHI, LTD. [JP/JP]; 6-6, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo, 1008280 (JP) (Tous Sauf US).
NAKATA, Toshihiko [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
WATANABE, Masahiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
INOUE, Takashi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
HIDAKA, Kishio [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
OKAI, Makoto [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MORITA, Toshiaki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
HIROOKA, Motoyuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : NAKATA, Toshihiko; (JP).
WATANABE, Masahiro; (JP).
INOUE, Takashi; (JP).
HIDAKA, Kishio; (JP).
OKAI, Makoto; (JP).
MORITA, Toshiaki; (JP).
HIROOKA, Motoyuki; (JP)
Mandataire : ASAMURA PATENT OFFICE, p.c.; Room 331, New Ohtemachi Bldg., 2-1, Ohtemachi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo, 1000004 (JP)
Données relatives à la priorité :
2008-054245 05.03.2008 JP
2008-252097 30.09.2008 JP
Titre (EN) SCANNING PROBE MICROSCOPE AND METHOD OF OBSERVING SAMPLE USING THE SAME
(FR) MICROSCOPE À SONDE DE BALAYAGE ET PROCÉDÉ D'OBSERVATION D'UN ÉCHANTILLON À L'AIDE DE CELUI-CI
(JA) 走査プローブ顕微鏡およびこれを用いた試料の観察方法
Abrégé : front page image
(EN)The optical data and peak-valley data on the surface of a sample are measured at a nanometer-order resolution and a high reproducibility while damaging neither a probe nor the sample by combining a nanometer-order cylindrical structure with a nanometer-order microstructure to form a plasmon reinforced near-field probe having a nanometer-order optical resolution and repeatedly moving it closer to and away from each measurement point on the sample at a low contact force.
(FR)Des données optiques et des données de crête-creux sont mesurées sur la surface d'un échantillon à une résolution de l'ordre du nanomètre. En combinant une structure cylindrique d'ordre nanométrique et une microstructure d'ordre nanométrique pour former une sonde en champ proche renforcée par plasmon à résolution optique d'ordre nanométrique et en la déplaçant de manière répétée en la rapprochant et en l'éloignant de chaque point de mesure sur l'échantillon à une force de contact faible, une reproductibilité élevée est obtenue sans endommager ni la sonde ni l'échantillon.
(JA) ナノメートルオーダの円筒形構造とナノメートルオーダの微小構造を組み合わせて、ナノメートルオーダの光学分機能を有するプラズモン増強近接場プローブを構成し、試料上の各測定点で低接触力での接近・退避を繰り返すことにより、プローブと試料の双方にダメージを与えることなく、ナノメートルオーダの分解能でかつ高い再現性で、試料表面の光学情報及び凹凸情報を測定する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)