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1. (WO2009108752) STRUCTURATION INDUITE PAR LASER DE SURFACES DE SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/108752    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/035239
Date de publication : 03.09.2009 Date de dépôt international : 26.02.2009
CIB :
H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : PRESIDENT & FELLOWS OF HARVARD COLLEGE [US/US]; 17 Quincy Street Cambridge, MA 02138 (US) (Tous Sauf US).
MAZUR, Eric [NL/US]; (US) (US Seulement).
SHEN, Mengyan [CN/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : MAZUR, Eric; (US).
SHEN, Mengyan; (US)
Mandataire : MOLLAAGHABABA, Reza; (US).
CAHILL, Ronald, E.; (US).
BURKE, Jaime, L.; (US).
ADAMS, Lisa; (US).
BELENCHIA-SAUER, Giordana, M.; (US)
Données relatives à la priorité :
12/038,209 27.02.2008 US
Titre (EN) LASER-INDUCED STRUCTURING OF SUBSTRATE SURFACES
(FR) STRUCTURATION INDUITE PAR LASER DE SURFACES DE SUBSTRAT
Abrégé : front page image
(EN)In one aspect, the present invention provides a method of processing a substrate, e.g., a semiconductor substrate, by irradiating a surface of the substrate (or at least a portion of the surface) with a first set of polarized short laser pulses while exposing the surface to a fluid to generate a plurality of structures on the surface, e.g., within a top layer of the surface. Subsequently, the structured surface can be irradiated with another set of polarized short laser pulses having a different polarization than that of the initial set while exposing the structured surface to a fluid, e.g., the same fluid initially utilized to form the structured surface or a different fluid. In many embodiments, the second set of polarized laser pulses cause the surface structures formed by the first set to break up into smaller-sized structures, e.g., nano-sized features such as nano-sized rods.
(FR)Dans un aspect, la présente invention concerne un procédé de traitement d’un substrat, par exemple, d’un substrat semi-conducteur, par l’irradiation d’une surface du substrat (ou au moins d’une partie de la surface) avec un premier ensemble d’impulsions laser courtes polarisées tout en exposant la surface à un fluide afin de générer une pluralité de structures sur la surface, par exemple, dans une couche supérieure de la surface. Par la suite, la surface structurée peut être irradiée avec un autre ensemble d’impulsions laser courtes polarisées ayant une polarisation différente de celle de l’ensemble initial tout en exposant la surface structurée à un fluide, par exemple, au même fluide qui a été initialement utilisé pour former la surface structurée ou à un fluide différent. Dans de nombreux modes de réalisation, le second ensemble d’impulsions laser polarisées amène les structures de surface formées par le premier ensemble à se briser en structures de taille plus petite, par exemple, en des caractéristiques de taille de l’ordre du nanomètre telles que des tiges de l’ordre du nanomètre.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)