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1. (WO2009107728) APPAREIL DE TRANSFERT, APPAREIL DE TRAITEMENT DU VIDE ET PROCÉDÉ DE TRANSFERT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/107728    N° de la demande internationale :    PCT/JP2009/053570
Date de publication : 03.09.2009 Date de dépôt international : 26.02.2009
CIB :
H01L 21/677 (2006.01), B65G 49/06 (2006.01)
Déposants : ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa, 2538543 (JP) (Tous Sauf US).
YOSHIDA, Daisuke [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : YOSHIDA, Daisuke; (JP)
Mandataire : ONDA, Hironori; 12-1, Ohmiya-cho 2-chome, Gifu-shi, Gifu, 5008731 (JP)
Données relatives à la priorité :
2008-047945 28.02.2008 JP
Titre (EN) TRANSFER APPARATUS, VACUUM PROCESSING APPARATUS AND TRANSFER METHOD
(FR) APPAREIL DE TRANSFERT, APPAREIL DE TRAITEMENT DU VIDE ET PROCÉDÉ DE TRANSFERT
(JA) 搬送装置、真空処理装置、及び搬送方法
Abrégé : front page image
(EN)Provided is a transfer apparatus (30) having an improved throughput in substrate transfer without increasing the dimensions of the apparatus. The transfer apparatus (30) is provided with a transfer tray (17) which transfers the substrate between a first transfer path (R1) and a second transfer path (R2) while supporting the substrate in the upright state; a tray stage (38) which can support the transfer tray; a lift mechanism (32), which removes the transfer tray from each transfer path by bringing up the tray stage, and places the transfer tray on each transfer path by bringing down the tray stage; and a sliding mechanism (31) for shifting the lift mechanism between the first and the second transfer paths. The lift mechanism (32) includes a lock mechanism (37), which locks the transfer tray to the tray stage in association with ascending of the tray stage, and releases the locked state of the transfer tray in association with descending of the tray stage.
(FR)La présente invention concerne un appareil de transfert (30) dont la vitesse de transfert de substrat est améliorée sans augmenter les dimensions de l'appareil. L'appareil de transfert (30) comprend : un plateau de transfert (17) qui transfère le substrat entre une première voie de transfert (R1) et une seconde voie de transfert (R2) tout en maintenant le substrat en position verticale ; un étage de plateaux (38) capable de supporter le plateau de transfert ; un mécanisme de levage (32), qui retire le plateau de transfert de chaque voie de transfert en montant l'étage à plateaux, et qui place le plateau de transfert sur chaque voie de transfert en abaissant l'étage de plateaux ; un mécanisme coulissant (31) qui déplace le mécanisme de levage entre la première et la seconde voie de transfert. Le mécanisme de levage (32) comprend un mécanisme de verrouillage (37) qui bloque le plateau de transfert dans l'étage de plateaux lors de l'ascension de l'étage de plateaux et débloque le plateau de transfert lors de la descente de l'étage de plateaux.
(JA) 装置を大型化することなく基板の搬送処理におけるスループットを向上させる搬送装置(30)。搬送装置(30)は、基板を立てた状態で支持しながら第1の搬送路(R1)と第2の搬送路(R2)との間で同基板を搬送する搬送トレー(17)と、搬送トレーを支持可能なトレーステージ(38)と、トレーステージを上昇させて搬送トレーを各搬送路から離脱させ、トレーステージを下降させて搬送トレーを各搬送路へ載置させるリフト機構(32)と、リフト機構を第1及び第2の搬送路間で移動させるスライド機構(31)とを含む。リフト機構(32)は、トレーステージの上昇と連動させて搬送トレーをトレーステージにロックし、トレーステージの下降と連動させて搬送トレーのロック状態を解除するロック機構(37)を含む。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)