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1. (WO2009107603) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE FABRICATION DE NANOTUBES DE CARBONE, FIBRE DE NANOTUBES DE CARBONE ET SIMILAIRES

Pub. No.:    WO/2009/107603    International Application No.:    PCT/JP2009/053265
Publication Date: Fri Sep 04 01:59:59 CEST 2009 International Filing Date: Wed Feb 25 00:59:59 CET 2009
IPC: C01B 31/02
Applicants: NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION SHIZUOKA UNIVERSITY
国立大学法人静岡大学
INOUE, Yoku
井上 翼
OKADA, Morihiro
岡田 守弘
Inventors: INOUE, Yoku
井上 翼
OKADA, Morihiro
岡田 守弘
Title: PROCÉDÉ ET APPAREIL DE FABRICATION DE NANOTUBES DE CARBONE, FIBRE DE NANOTUBES DE CARBONE ET SIMILAIRES
Abstract:
L'invention porte sur un appareil de CVD (10) qui comprend un four électrique (12), une conduite de cuve de réaction (14) et un petit substrat de cuve (15), qui sont tous deux disposés dans le four, et un dispositif de chauffage (16) et un thermocouple (18) qui sont disposés autour de la périphérie de la conduite. Une extrémité de la conduite de cuve de réaction (14) a été reliée à une partie d'alimentation en gaz (22) et l'autre a été reliée à une soupape de régulation de pression (23) et une partie d'évacuation de gaz (24). La partie (22), la soupape (23) et la partie (24) sont commandées par une partie de commande (20). La conduite de cuve de réaction (14) est mise sous vide par la partie d'évacuation de gaz (24). L'intérieur du petit substrat de cuve (15) est chauffé avec le dispositif de chauffage (16) pour chauffer et sublimer du chlorure de fer (26) servant de catalyseur. Ensuite, de l'acétylène gazeux (30) est amené à s'écouler dans le petit substrat de cuve (15) par la partie d'introduction de gaz (22). En conséquence, le chlorure de fer subit une réaction en phase gazeuse avec l'acétylène gazeux pour former des noyaux de croissance de nanotubes de carbone sur un substrat (28) sur lequel est formée une couche d'oxyde de silicium. Après cela, les nanotubes de carbone croissent tout en étant orientés verticalement.