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1. (WO2009107550) ROBOT DE TRANSPORT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/107550    N° de la demande internationale :    PCT/JP2009/052963
Date de publication : 03.09.2009 Date de dépôt international : 20.02.2009
CIB :
H01L 21/677 (2006.01)
Déposants : TAZMO CO., LTD. [JP/JP]; 6186 Kinoko-cho, Ibara-shi, Okayama, 7158603 (JP) (Tous Sauf US).
KOBIKI, Takahiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : KOBIKI, Takahiro; (JP)
Mandataire : Kaede Patent Attoneys' Office; 1-4-34, Noninbashi, Chuo-ku, Osaka-shi Osaka, 5400011 (JP)
Données relatives à la priorité :
2008-046337 27.02.2008 JP
Titre (EN) CONVEYING ROBOT
(FR) ROBOT DE TRANSPORT
(JA) 搬送ロボット
Abrégé : front page image
(EN)A conveying robot (10) comprises a body (12), a first arm (18), and a second arm (16). The first arm (18) is so configured as to be capable of reciprocating between a wafer cassette and the upper position of the body (12). The first arm (18) is equipped with a first hand (182) including a plurality of holding parts so constituted as to hold a wafer. The second arm (16) is so configured as to be capable of reciprocating between the upper position of the body (12) and a wafer stage. The second arm (16) is equipped with a second hand (162) including a plurality of holding parts so constituted as to hold the wafer from the angle different from an angle from which the first hand (182) holds the wafer. The holding parts of the first hand (182) and the holding parts of the second hand (162) are positioned at the same height.
(FR)Un robot de transport (10) comprend un corps (12), un premier bras (18) et un second bras (16). Le premier bras (18) est configuré de manière à pouvoir être animé d'un mouvement de va-et-vient entre une cassette de tranches et la position supérieure du corps (12). Le premier bras (18) est doté d'une première main (182) qui comprend une pluralité de parties préhension constituées de manière à tenir une tranche. Le second bras (16) est configuré de manière à pouvoir être animé d'un mouvement de va-et-vient entre la position supérieure du corps (12) et un étage de tranches. Le second bras (16) est doté d'une seconde main (162) qui comprend une pluralité de parties préhension constituées de manière à tenir la tranche selon un angle différent de l'angle selon lequel la première main (182) tient la tranche. Les parties préhension de la première main (182) et les parties préhension de la seconde main (162) sont positionnées à la même hauteur.
(JA)搬送ロボット(10)は、本体(12)、第1のアーム(18)、第2のアーム(16)を備える。第1のアーム(18)は、ウェハカセットと本体(12)の上方位置との間で往復移動可能に構成される。第1のアーム(18)は、ウェハを把持するように構成された複数の把持部を有する第1のハンド(182)を備える。第2のアーム(16)は、本体(12)の上方位置とウェハステージとの間で往復移動可能に構成される。第2のアーム(16)は、第1のハンド(182)とは異なる角度からウェハを把持するように構成された複数の把持部を有する第2のハンド(162)を備える。第1のハンド(182)における把持部と第2のハンド(162)における把持部とは、互いに同じ高さに配置されるように構成される。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)