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1. (WO2009107423) PROCÉDÉ D'AIDE À LA DÉTECTION DE PARTICULES, PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE PARTICULES, APPAREIL POUR AIDER À LA DÉTECTION DE PARTICULES, ET SYSTÈME POUR LA DÉTECTION DE PARTICULES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/107423    N° de la demande internationale :    PCT/JP2009/050759
Date de publication : 03.09.2009 Date de dépôt international : 20.01.2009
CIB :
G01N 15/14 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku Tokyo, 1076325 (JP) (Tous Sauf US).
KAWAMURA, Shigeru; (US Seulement).
HAYASHI, Teruyuki; (US Seulement)
Inventeurs : KAWAMURA, Shigeru; .
HAYASHI, Teruyuki;
Mandataire : KOHNO, Takao; KOHNO PATENT OFFICE, 4-3, Tsuriganecho 2-chome, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka, 5400035 (JP)
Données relatives à la priorité :
2008-042716 25.02.2008 JP
Titre (EN) METHOD OF HELPING PARTICLE DETECTION, METHOD OF PARTICLE DETECTION, APPARATUS FOR HELPING PARTICLE DETECTION, AND SYSTEM FOR PARTICLE DETECTION
(FR) PROCÉDÉ D'AIDE À LA DÉTECTION DE PARTICULES, PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE PARTICULES, APPAREIL POUR AIDER À LA DÉTECTION DE PARTICULES, ET SYSTÈME POUR LA DÉTECTION DE PARTICULES
(JA) 粒子検出補助方法、粒子検出方法、粒子検出補助装置及び粒子検出システム
Abrégé : front page image
(EN)A method of helping particle detection and a method of particle detection are provided which make the accurate detection of fine organic particles and inorganic particles possible, such detection having been impossible with the conventional light scattering method. The methods comprise: an adsorption/infiltration step in which an organic gas is brought into contact with organic particles in a semiconductor production step to cause a component of the organic gas to be adsorbed onto and filtrate into the organic particles; a foaming step in which a heated gas is brought into contact with the organic particles having been contacted with the organic gas to thereby foam/expand the organic particles; an organic-particle detection step in which the foamed/expanded organic particles are irradiated with light and the light scattered by the organic particles is received to thereby detect the organic particles; an oxidation step in which inorganic particles and the organic particles are oxidized to thereby decompose the organic particles and expand the inorganic particles; and an inorganic-particle detection step in which the expanded inorganic particles are irradiated with light and the light scattered by the inorganic particles is received to thereby detect the inorganic particles.
(FR)L'invention porte sur un procédé d'aide à la détection de particules et sur un procédé de détection de particules qui permettent une détection précise de fines particules organiques et de fines particules inorganiques, cette détection ayant été impossible avec le procédé de dispersion de lumière classique. Les procédés comprennent : une étape d'adsorption/infiltration dans laquelle un gaz organique est amené en contact avec des particules organiques dans une étape de production de semi-conducteur de façon à provoquer l'adsorption d'un composant du gaz organique sur les particules organiques et sa filtration dans celles-ci ; une étape de moussage dans laquelle un gaz chauffé est amené en contact avec les particules organiques qui ont été amenées en contact avec le gaz organique de façon à faire ainsi mousser/subir une expansion aux particules organiques ; une étape de détection de particules organiques dans laquelle les particules organiques ayant moussé/ayant subi une expansion sont irradiées par de la lumière et la lumière dispersée par les particules organiques est reçue de façon à détecter ainsi les particules organiques ; une étape d'oxydation dans laquelle des particules inorganiques et les particules organiques sont oxydées de façon à décomposer ainsi les particules organiques et à faire ainsi subir une expansion aux particules inorganiques; et une étape de détection de particules inorganiques dans laquelle les particules inorganiques ayant subi une expansion sont irradiées par de la lumière et la lumière dispersée par les particules inorganiques est reçue, de façon à détecter ainsi les particules inorganiques.
(JA) 従来の光散乱法では検出不能であった微小な有機系粒子及び無機系粒子の正確な検出を可能にする粒子検出補助方法及び粒子検出方法を提供する。半導体製造工程における有機系粒子に有機系ガスを接触させることで、該有機系粒子に有機系ガス成分を吸着及び浸透させる吸着浸透工程と、有機系ガスに接触させた有機系粒子に加熱ガスを接触させることで、該有機系粒子を発泡膨張させる発泡工程と、発泡膨張した有機系粒子に光を照射し、該有機系粒子からの散乱光を受光することで前記有機系粒子を検出する有機系粒子検出工程と、無機系粒子及び有機系粒子を酸化させることで、該有機系粒子を分解すると共に、前記無機系粒子を膨張させる酸化工程と、膨張した無機系粒子に光を照射し、該無機系粒子からの散乱光を受光することで、前記無機系粒子を検出する無機系粒子検出工程とを備える。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)