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1. (WO2009107063) DISPOSITIF DE RÉDUCTION DE DÉBRIS AVEC COLLECTEUR À FEUILLE TOURNANT ET MÉCANISME D'ENTRAÎNEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/107063    N° de la demande internationale :    PCT/IB2009/050742
Date de publication : 03.09.2009 Date de dépôt international : 25.02.2009
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), G21K 1/04 (2006.01), F16C 33/72 (2006.01)
Déposants : PHILIPS INTELLECTUAL PROPERTY & STANDARDS GMBH [DE/DE]; Lübeckertordamm 5, 20099 Hamburg (DE) (DE only).
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. [NL/NL]; Groenewoudseweg 1, NL-5621 BA Einhdoven (NL) (AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BH, BJ, BR, BW, BY, BZ, CA, CF, CG, CH, CI, CM, CN, CO, CR, CU, CY, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, FR, GA, GB, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GR, GT, GW, HN, HR, HU, ID, IE, IL, IN, IS, IT, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MC, MD, ME, MG, MK, ML, MN, MR, MT, MW, MX, MY, MZ, NA, NE, NG, NI, NL, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SM, SN, ST, SV, SY, SZ, TD, TG, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW only).
DERRA, Guenther Hans [DE/DE]; (NL) (US Seulement).
SCHAAF, Michael [DE/DE]; (NL) (US Seulement)
Inventeurs : DERRA, Guenther Hans; (NL).
SCHAAF, Michael; (NL)
Mandataire : UITTENBOGAARD, Frank; High Tech Campus 44, NL-5656 AE Eindhoven, (NL)
Données relatives à la priorité :
08102119.8 28.02.2008 EP
Titre (EN) DEBRIS MITIGATION DEVICE WITH ROTATING FOIL TRAP AND DRIVE ASSEMBLY
(FR) DISPOSITIF DE RÉDUCTION DE DÉBRIS AVEC COLLECTEUR À FEUILLE TOURNANT ET MÉCANISME D'ENTRAÎNEMENT
Abrégé : front page image
(EN)The present invention relates to a debris mitigation device for use with a radiation source (2) generating optical radiation, in particular extreme ultraviolet radiation (EUV) or soft x-rays, and emitting undesired substances and/or particles which can deposit on optical surfaces in a radiation path of said radiation source (2), and to a corresponding drive assembly. The debris mitigation device comprises at least one rotating foil trap (5) and the drive assembly. The drive assembly comprises a driving motor (14) and a driving axis (10), to which the rotating foil trap (5) is fixed. The driving motor (14) and bearings (13) supporting the driving axis (10) are enclosed in a casing (20) having an aperture for the driving axis (10) and at least one outlet opening (21) for a sealing gas. The outlet opening (21) is connectable to a pump for pumping out the sealing gas. The aperture is designed to define a gap (23) between the driving axis (10) and the casing (20), wherein said gap (23) is connected to a supply pipe (19) for supplying the sealing gas through said gap (23) into said casing (20). The proposed debris mitigation device allows the use of conventional driving motors and oiled or lubricated bearings without the risk of contamination of the vacuum chamber in which the debris mitigation device is used. This results in an enhanced service life of the driving assembly.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de réduction de débris destiné à être utilisé avec une source de rayonnement (2) générant un rayonnement optique, en particulier un rayonnement ultraviolet extrême (EUV) ou des rayons X mous, et émettant des substances et/ou des particules indésirables qui peuvent se déposer sur des surfaces optiques dans un trajet de rayonnement de ladite source de rayonnement (2), et le mécanisme d'entraînement correspondant. Le dispositif de réduction de débris comporte au moins un collecteur à feuille tournant (5) et le mécanisme d'entraînement. Le mécanisme d'entraînement comporte un moteur d'entraînement (14) et un axe d'entraînement (10) auquel est fixé le collecteur à feuille tournant (5). Le moteur d'entraînement (14) et des paliers (13) portant l'axe d'entraînement (10) sont enfermés dans un boîtier (20) ayant une ouverture pour l'axe d'entraînement (10) et au moins une ouverture de sortie (21) pour un gaz d'étanchéité. L'ouverture de sortie (21) peut être reliée à une pompe pour vidanger par pompage le gaz d'étanchéité. L'ouverture est conçue pour définir un intervalle (23) entre l'axe d'entraînement (10) et le boîtier (20), ledit intervalle (23) étant relié à un tuyau de distribution (19) pour distribuer le gaz d'étanchéité dans ledit boîtier (20) par l'intermédiaire dudit intervalle (23). Le dispositif de réduction de débris proposé permet l'utilisation de moteurs d'entraînement classiques et de paliers à huile ou lubrifiés classiques, sans courir le risque de contaminer la chambre sous vide dans laquelle est utilisé le dispositif de réduction de débris. Ceci conduit à une durée de vie prolongée du mécanisme d'entraînement.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)