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1. (WO2009106962) DISPOSITIF DE PRÉVENTION DE REVÊTEMENT SUR LE CÔTÉ ARRIÈRE, CHAMBRE DE REVÊTEMENT COMPRENANT UN DISPOSITIF DE PRÉVENTION DE REVÊTEMENT SUR LE CÔTÉ ARRIÈRE, ET PROCÉDÉ DE REVÊTEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/106962    N° de la demande internationale :    PCT/IB2009/000357
Date de publication : 03.09.2009 Date de dépôt international : 26.02.2009
CIB :
B05C 3/18 (2006.01), B05C 1/16 (2006.01), B05C 5/02 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Ave. Santa Clara, CA 95054 (US) (Tous Sauf US).
SAUER, Andreas [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
HENRICH, Juergen [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
GEBELE, Thomas [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : SAUER, Andreas; (DE).
HENRICH, Juergen; (DE).
GEBELE, Thomas; (DE)
Mandataire : ZIMMERMANN, Gerd; Zimmermann & Partner Isartorplatz 1 80331 Munich (DE)
Données relatives à la priorité :
08152074.4 28.02.2008 EP
61/032,133 28.02.2008 US
08009828.8 29.05.2008 EP
12/128,856 29.05.2008 US
08160908.3 22.07.2008 EP
12/177,632 22.07.2008 US
Titre (EN) BACKSIDE COATING PREVENTION DEVICE, COATING CHAMBER COMPRISING A BACKSIDE COATING PREVENTION DEVICE, AND METHOD OF COATING
(FR) DISPOSITIF DE PRÉVENTION DE REVÊTEMENT SUR LE CÔTÉ ARRIÈRE, CHAMBRE DE REVÊTEMENT COMPRENANT UN DISPOSITIF DE PRÉVENTION DE REVÊTEMENT SUR LE CÔTÉ ARRIÈRE, ET PROCÉDÉ DE REVÊTEMENT
Abrégé : front page image
(EN)A backside coating prevention device adapted for a coating chamber for coating plate-shaped substrates is provided, said coating chamber being adapted for coating continuously or discontinuously transported plate-shaped substrates, comprising a front wall having a substrate feeding opening and a rear wall having a substrate discharge opening, a coating material source adapted for dispensing coating material into the coating chamber, and a transport system, a front side of the transport system facing the coating material source, the transport system being adapted for continuously or discontinuously transporting a plurality of plate-shaped substrates along a transport path on the front side of the transport system, wherein said backside coating prevention device is adapted for providing a gas barrier at the front side of the transport system and adjacent to the backsides of the plurality of plate- shapes substrates for preventing backside coating of the plate-shaped substrates.
(FR)L'invention concerne un dispositif de prévention de revêtement sur le côté arrière conçu pour une chambre de revêtement destinée à revêtir des substrats en forme de plaque, ladite chambre de revêtement étant conçue pour revêtir des substrats en forme de plaque transportés en mode continu ou discontinu, et comprenant une paroi avant comportant une ouverture d'alimentation en substrat et une paroi arrière comportant une ouverture d'évacuation du substrat, une source de matériau de revêtement conçue pour délivrer le matériau de revêtement dans la chambre de revêtement, et un système de transport. Le côté avant du système de transport fait face à la source de matériau de revêtement, le système de transport étant conçu pour transporter en mode continu ou discontinu une pluralité de substrats en forme de plaque le long d'un trajet de transport sur le côté avant du système de transport. Ledit dispositif de prévention de revêtement arrière est conçu pour former une barrière aux gaz du côté avant du système de transport et adjacente aux côtés arrières de la pluralité de substrats en forme de plaque, afin d'empêcher le revêtement du côté arrière des substrats en forme de plaque.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)