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1. (WO2009094447) PROCÉDÉ ET APPAREIL POUR AMÉLIORER UNE UNIFORMITÉ D'ÉCOULEMENT DANS UNE CHAMBRE DE TRAITEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/094447    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/031689
Date de publication : 30.07.2009 Date de dépôt international : 22.01.2009
CIB :
H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01), H01L 21/20 (2006.01), H01L 21/30 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue, Santa Clara, California 95054 (US) (Tous Sauf US).
BERA, Kallol [IN/US]; (US) (US Seulement).
CARDUCCI, James, D. [US/US]; (US) (US Seulement).
BALAKRISHNA, Ajit [US/US]; (US) (US Seulement).
RAUF, Shahid [US/US]; (US) (US Seulement).
COLLINS, Kenneth, S. [US/US]; (US) (US Seulement).
NGUYEN, Andrew [US/US]; (US) (US Seulement).
NOORBAKHSH, Hamid [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : BERA, Kallol; (US).
CARDUCCI, James, D.; (US).
BALAKRISHNA, Ajit; (US).
RAUF, Shahid; (US).
COLLINS, Kenneth, S.; (US).
NGUYEN, Andrew; (US).
NOORBAKHSH, Hamid; (US)
Mandataire : TABOADA, Alan; Moser IP Law Group 1030 Broad Street Suite 203 Shrewsbury, NJ 07702 (US)
Données relatives à la priorité :
12/020,043 25.01.2008 US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR ENHANCING FLOW UNIFORMITY IN A PROCESS CHAMBER
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL POUR AMÉLIORER UNE UNIFORMITÉ D'ÉCOULEMENT DANS UNE CHAMBRE DE TRAITEMENT
Abrégé : front page image
(EN)Methods and apparatus for processing substrates are provided herein. In some embodiments, an apparatus for processing a substrate may include a process chamber having an inner volume and an exhaust system coupled thereto, wherein the exhaust system includes a plurality of first conduits, each first conduit having an inlet adapted to receive exhaust from the inner volume of the process chamber. A pumping plenum is coupled to each of the plurality of first conduits. The pumping plenum has a pumping port adapted to pump the exhaust from the chamber. The conductance between each inlet of the plurality of first conduits and the pumping port is substantially equivalent.
(FR)L'invention porte sur des procédés et sur un appareil pour traiter des substrats. Dans certains modes de réalisation, un appareil pour traiter un substrat peut comprendre une chambre de traitement ayant un volume interne et ayant un système d'évacuation accouplé à celle-ci, le système d'évacuation comprenant une pluralité de premiers conduits, chaque premier conduit comportant un orifice d'entrée apte à recevoir une évacuation à partir du volume interne de la chambre de traitement. Un plénum de pompage est accouplé à chacun de la pluralité de premiers conduits. Le plénum de pompage comporte un orifice de pompage apte à pomper l'évacuation à partir de la chambre. Le facteur de conduction entre chaque orifice d'entrée de la pluralité de premiers conduits et l'orifice de pompage est sensiblement équivalent.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)