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1. (WO2009094176) TRANSFERT DE COUCHE POUR DES FEUILLES INORGANIQUES DE GRANDE SURFACE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/094176    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/000428
Date de publication : 30.07.2009 Date de dépôt international : 23.01.2009
CIB :
C23C 16/30 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01)
Déposants : NANOGRAM CORPORATION [US/US]; 165 Topaz Street Milpitas, CA 95035 (US) (Tous Sauf US).
BAILEY, Robert, J. [US/US]; (US) (US Seulement).
SANDERS, William, A. [US/US]; (US) (US Seulement).
MOSSO, Ronald, J. [US/US]; (US) (US Seulement).
HIESLMAIR, Henry [US/US]; (US) (US Seulement).
MORRIS, Julio, E. [US/US]; (US) (US Seulement).
MOGAARD, Martin, E. [US/US]; (US) (US Seulement).
HERNANDEZ, Jacob, A. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : BAILEY, Robert, J.; (US).
SANDERS, William, A.; (US).
MOSSO, Ronald, J.; (US).
HIESLMAIR, Henry; (US).
MORRIS, Julio, E.; (US).
MOGAARD, Martin, E.; (US).
HERNANDEZ, Jacob, A.; (US)
Mandataire : DARDI, Peter, S.; Dardi & Herbert, PLLC Moore Lake Plaza, Suite 205 1250 East Moore Lake Drive Fridley, Minnesota 55432 (US)
Données relatives à la priorité :
61/062,399 25.01.2008 US
Titre (EN) LAYER TRANSFER FOR LARGE AREA INORGANIC FOILS
(FR) TRANSFERT DE COUCHE POUR DES FEUILLES INORGANIQUES DE GRANDE SURFACE
Abrégé : front page image
(EN)Layer transfer approaches are described to take advantage of large area, thin inorganic foils formed onto a porous release layer. In particular, since the inorganic foils can be formed from ceramics and/or crystalline materials that do not bend a large amount, approaches are described to provide for gradual pulling along an edge to separate the foil from a holding surface along a curved surface designed to not excessively bend the foil such that the foil is not substantially damaged in the transfer process. Apparatuses are described to perform the transfer with a rocking motion or with a rotating cylindrical surface. Furthermore, stabilization of porous release layers can improve the qualities of resulting inorganic foils formed on the release layer. In particular, flame treatments can provide improved release layer properties, and the deposition of an interpenetrating stabilization composition can be deposited using CVD to stabilize a porous layer.
(FR)L'invention porte sur des approches de transfert de couche pour tirer avantage de feuilles inorganiques minces, de grande surface, qui sont formées sur une couche antiadhésive poreuse. En particulier, dans la mesure où les feuilles inorganiques peuvent être formées à partir de céramiques et/ou de matériaux cristallins qui ne se courbent pas de façon importante, l'invention porte sur des approches qui permettent une traction progressive le long d'un bord pour séparer la feuille d'une surface de support le long d'une surface courbe conçue pour ne pas courber de façon excessive la feuille, de telle sorte que la feuille n'est pas sensiblement endommagée dans le processus de transfert. L'invention porte également sur des appareils pour effectuer le transfert avec un mouvement de balancement ou avec une surface cylindrique tournante. De plus, la stabilisation des couches antiadhésives poreuses peut améliorer les qualités des feuilles inorganiques résultantes formées sur la couche antiadhésive. En particulier, des traitements à la flamme peuvent permettre d'améliorer les propriétés de la couche antiadhésive et le dépôt d'une composition de stabilisation d'imprégnation peut être effectué à l'aide d'un dépôt chimique en phase vapeur (CVD) afin de stabiliser une couche poreuse.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)