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1. (WO2009090743) DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/090743    N° de la demande internationale :    PCT/JP2008/050539
Date de publication : 23.07.2009 Date de dépôt international : 17.01.2008
CIB :
B65G 49/06 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
Déposants : HIRATA CORPORATION [JP/JP]; 9-20, Togoshi 3-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1420041 (JP) (Tous Sauf US).
FUJIYOSHI, Makoto [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : FUJIYOSHI, Makoto; (JP)
Mandataire : OHTSUKA, Yasunori; 7th FL., KIOICHO PARK BLDG. 3-6, KIOICHO, CHIYODA-KU Tokyo 1020094 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) SUBSTRATE TRANSPORT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
(JA) 基板搬送装置
Abrégé : front page image
(EN)A substrate transport device comprises a first transport means which transports a substrate horizontally in a first transport direction and a second transport means which transports the substrate horizontally in a second transport direction orthogonal to the first transport direction. The first transport means is composed of a plurality of lines of first transport units separated from one another in the first transport direction. The second transport means is composed of a plurality of second transport units separated from one another in the second transport direction. Each second transport unit comprises a supporting unit which is disposed in a gap between the first transport units to support the substrate from its lower side, a vertical movement unit which is disposed under the supporting unit to vertically move the supporting unit, and a drive unit which is disposed below the first transport unit to move the supporting unit and the vertical movement unit in the second transport direction.
(FR)La présente invention se rapporte à un dispositif de transport de substrat comprenant un premier moyen de transport qui transporte un substrat à l'horizontale dans une première direction de transport et un second moyen de transport qui transporte le substrat à l'horizontale dans une seconde direction de transport orthogonale à la première direction de transport. Le premier moyen de transport se compose d'une pluralité de lignes de premières unités de transport séparées les unes des autres dans la première direction de transport. Le second moyen de transport se compose d'une pluralité de secondes unités de transport séparées les unes des autres dans la seconde direction de transport. Chaque seconde unité de transport comprend une unité de support qui est disposée dans un espace entre les premières unités de transport pour soutenir le substrat depuis son côté inférieur, une unité de déplacement vertical qui est disposé sous l'unité de support pour déplacer à la verticale l'unité de support, et une unité d'entraînement qui est disposée sous la première unité de transport pour déplacer l'unité de support et l'unité de déplacement vertical dans la seconde direction de transport.
(JA) 本発明の基板搬送装置は、第1搬送方向で水平に搬送する第1搬送手段と、前記第1搬送手段上の前記基板を、前記第1搬送方向と直交する第2搬送方向で水平に搬送する第2搬送手段と、を備える。前記第1搬送手段は、互いに前記第1搬送方向に離間した複数列の第1搬送ユニットで構成され、前記第2搬送手段は、互いに前記第2搬送方向に離間した複数の第2搬送ユニットで構成される。各々の前記第2搬送ユニットは、前記第1搬送ユニット間の空隙に配置され、前記基板をその下側から支持する支持ユニットと、前記支持ユニットの下方に配置されて前記支持ユニットを昇降する昇降ユニットと、前記第1搬送ユニットよりも下方に配置され、前記支持ユニット及び前記昇降ユニットを前記第2搬送方向に移動させる駆動ユニットと、を備える。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)