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1. (WO2009089499) SYSTÈME À FAISCEAUX MULTIPLES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/089499    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/030671
Date de publication : 16.07.2009 Date de dépôt international : 09.01.2009
CIB :
H01L 21/027 (2006.01)
Déposants : FEI COMPANY [US/US]; 5350 NE Dawson Creek Dr. Hillsboro, Oregon 97124-5793 (US) (Tous Sauf US).
UTLAUT, Mark W. [US/US]; (US) (US Seulement).
SMITH, Noel [GB/US]; (US) (US Seulement).
TESCH, Paul, P. [US/US]; (US) (US Seulement).
NARUM, David, H. [US/US]; (US) (US Seulement).
TUGGLE, David [US/US]; (US) (US Seulement).
MILLER, Tom [US/US]; (US) (US Seulement).
SCIPIONI, Lawrence [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : UTLAUT, Mark W.; (US).
SMITH, Noel; (US).
TESCH, Paul, P.; (US).
NARUM, David, H.; (US).
TUGGLE, David; (US).
MILLER, Tom; (US).
SCIPIONI, Lawrence; (US)
Mandataire : GRINER, David; Scheinberg & Griner, LLP PO Box 164140 Austin, TX 78716-4140 (US)
Données relatives à la priorité :
61/020,102 09.01.2008 US
Titre (EN) MULTIBEAM SYSTEM
(FR) SYSTÈME À FAISCEAUX MULTIPLES
Abrégé : front page image
(EN)A multibeam system in which a charged particle beam and one or more additional beams can be directed to the target within a single vacuum chamber. A first beam column preferably produces a beam for rapid processing, and a second beam column produces a beam for more precise processing. A third beam column can be used to produce a beam useful for forming an image of the sample while producing little or no change in the sample.
(FR)Système à faisceaux multiples dans lequel un faisceau de particules chargé et un ou plusieurs faisceaux supplémentaires peuvent être dirigés sur la cible dans une chambre à vide unique. Une première colonne de faisceau produit de préférence un faisceau pour traitement rapide, et une deuxième colonne de faisceau produit un faisceau pour traitement plus précis. Une troisième colonne de faisceau peut être utilisée pour produire un faisceau utile pour la formation d'une image de l'échantillon tout en produisant peu ou pas de modification dans l'échantillon.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)