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1. (WO2009089244) ISOLANT DE POMME D'ARROSOIR ET CHEMISE DE CHAMBRE DE TRAVAIL
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/089244    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/030266
Date de publication : 16.07.2009 Date de dépôt international : 07.01.2009
CIB :
H01L 21/3065 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue, Santa Clara, California 95054 (US) (Tous Sauf US).
CARDUCCI, James, D. [US/US]; (US) (US Seulement).
REGELMAN, Olga [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : CARDUCCI, James, D.; (US).
REGELMAN, Olga; (US)
Mandataire : PATTERSON, B., Todd; Patterson & Sheridan, L.L.P., 3040 Post Oak Blvd., Suite 1500, Houston, Texas 77056-6582 (US)
Données relatives à la priorité :
61/020,229 10.01.2008 US
Titre (EN) SHOWERHEAD INSULATOR AND ETCH CHAMBER LINER
(FR) ISOLANT DE POMME D'ARROSOIR ET CHEMISE DE CHAMBRE DE TRAVAIL
Abrégé : front page image
(EN)The present invention generally comprises a showerhead insulator for electrically isolating a showerhead assembly from a processing chamber wall, a chamber liner assembly for lining a processing chamber, a lower chamber liner for lining an evacuation area of a processing chamber, and a flow equalizer for ensuring a uniform evacuation of a processing chamber. When processing a substrate within an etching chamber, the showerhead needs to be electrically isolated from ground. A showerhead insulator may insulate the showerhead from ground while also preventing plasma from entering the volume that it occupies. A chamber liner may protect the chamber walls from contamination and reduce chamber cleaning. A flow equalizer will permit processing gases to be evenly pulled into the evacuation channel rather than a disproportionate flow into the evacuation channel. A lower liner can aid in uniformly drawing the vacuum and protecting the chamber walls from contamination.
(FR)L'invention concerne d'une façon générale un isolant de pomme d'arrosoir pour isoler électriquement un ensemble de pomme d'arrosoir d'une paroi de chambre de traitement, un ensemble de chemise de chambre pour chemiser une chambre de traitement, une chemise de chambre inférieure pour chemiser une zone d'évacuation d'une chambre de traitement, et un égaliseur d'écoulement pour assurer une évacuation uniforme de la chambre de traitement. Lors du traitement d'un substrat à l'intérieur d'une chambre de gravage, la pomme d'arrosoir a besoin d'être isolée électriquement de la masse. Un isolant de pomme d'arrosoir peut isoler la pomme d'arrosoir de la masse tout en empêchant également le plasma d'entrer dans le volume qu'il occupe. Une chemise de chambre peut protéger les parois de la chambre d'une contamination et réduire le nettoyage de la chambre. Un égaliseur d'écoulement permettra à des gaz de traitement d'être tirés uniformément dans le canal d'évacuation, plutôt que de s'écouler de façon disproportionnée dans le canal d'évacuation. Une chemise inférieure peut aider à tirer uniformément le vide et à protéger les parois de la chambre d'une contamination.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)