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1. (WO2009089122) FLÉCHISSEMENT CONTRÔLÉ DE SUBSTRATS SEMI-CONDUCTEURS À SURFACE IMPORTANTE POUR DES CONTENANTS D'EXPÉDITION ET DE FABRICATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/089122    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/030060
Date de publication : 16.07.2009 Date de dépôt international : 03.01.2009
CIB :
H01L 21/673 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
Déposants : ASYST TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 46897 Bayside Parkway, Fremont, CA 94538 (US) (Tous Sauf US).
BONORA, Anthony, C. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : BONORA, Anthony, C.; (US)
Mandataire : GENCARELLA, Michael, L.; Martine Penilla & Gencarella, LLP, 710 Lakeway Drive, Suite 200, Sunnyvale, CA 94085 (US)
Données relatives à la priorité :
61/018,782 03.01.2008 US
12/348,276 02.01.2009 US
Titre (EN) CONTROLLED DEFLECTION OF LARGE AREA SEMICONDUCTOR SUBSTRATES FOR SHIPPING & MANUFACTURING CONTAINERS
(FR) FLÉCHISSEMENT CONTRÔLÉ DE SUBSTRATS SEMI-CONDUCTEURS À SURFACE IMPORTANTE POUR DES CONTENANTS D'EXPÉDITION ET DE FABRICATION
Abrégé : front page image
(EN)A substrate container for storing at least one substrate is provided. The substrate container includes a housing assembly encompassing the at least one substrate, the housing assembly having a container door for access into an inner region of the housing assembly. The housing assembly includes a support structure defined along sidewalls of the housing assembly. The support structure has a plurality of edge support constraints protruding into the inner region of the housing assembly. The plurality of edge support constraints support opposing edge regions of the at least one substrate so as to cause the at least one substrate to deflect around an axis.
(FR)L'invention porte sur un contenant de substrat pour stocker au moins un substrat. Le contenant de substrat comprend un ensemble boîtier qui contient au moins un substrat, l'ensemble boîtier ayant une porte de contenant pour accéder à l'intérieur d'une région interne de l'ensemble boîtier. L'ensemble boîtier comprend une structure de support définie le long des parois latérales de l'ensemble boîtier. La structure de support a une pluralité de contraintes de support de bord faisant saillie à l'intérieur de la région interne de l'ensemble boîtier. La pluralité de contraintes de support de bord portent des régions de bord opposées du ou des substrats de façon à amener le ou les substrats à fléchir autour d'un axe.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)