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1. (WO2009089089) FABRICATION DE MICRODISPOSITIF
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/089089    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/030013
Date de publication : 16.07.2009 Date de dépôt international : 02.01.2009
CIB :
H01L 21/44 (2006.01)
Déposants : BOARD OF REGENTS, THE UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM [US/US]; 201 W. 7th Street, Austin, TX 78701 (US) (Tous Sauf US).
KAEHR, Bryan [US/US]; (US) (US Seulement).
NIELSON, Rex [US/US]; (US) (US Seulement).
SHEAR, Jason, B. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : KAEHR, Bryan; (US).
NIELSON, Rex; (US).
SHEAR, Jason, B.; (US)
Mandataire : LECOINTE, Michelle, M.; Baker Botts L.L.P., 98 San Jacinto Blvd., 1500 San Jacinto Center, Austin, TX 78701-4039 (US)
Données relatives à la priorité :
61/018,599 02.01.2008 US
Titre (EN) MICRODEVICE FABRICATION
(FR) FABRICATION DE MICRODISPOSITIF
Abrégé : front page image
(EN)According to certain embodiments, systems comprising an energy source; at least one conjugate mask; a magnification device; and a fabrication material; wherein the at least one conjugate mask is disposed between the energy source and the magnification device; and wherein the fabrication material is disposed operable to the magnification device. According to other embodiments, methods and composition employing such systems.
(FR)Dans certaines formes de réalisation, l'invention concerne des systèmes comprenant une source d'énergie; au moins un masque conjugué; un dispositif de grossissement; et une matière de fabrication. Le(s) masque(s) conjugué(s) est/sont placé(s) entre la source d'énergie et le dispositif de grossissement; et la matière de fabrication est placée exploitable par rapport au dispositif de grossissement. Dans d'autres modes et une autre forme de réalisation, l'invention concerne des procédés et une composition utilisant de tels systèmes.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)