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1. (WO2009088058) SCANNER OPTIQUE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN SCANNER OPTIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/088058    N° de la demande internationale :    PCT/JP2009/050173
Date de publication : 16.07.2009 Date de dépôt international : 09.01.2009
CIB :
G02B 26/10 (2006.01), G02B 26/08 (2006.01), H04N 1/036 (2006.01)
Déposants : BROTHER KOGYO KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 15-1, Naeshiro-cho, Mizuho-ku, Nagoya-shi, Aichi, 4678561 (JP) (Tous Sauf US).
KAKAMU, Katsumi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : KAKAMU, Katsumi; (JP)
Mandataire : YAMANAKA, Ikuo; 7th Floor, Daiei Building, 11-20, Nishiki 1-chome, Naka-ku, Nagoya-shi, Aichi, 4600003 (JP)
Données relatives à la priorité :
2008-002696 10.01.2008 JP
2008-008600 18.01.2008 JP
Titre (EN) OPTICAL SCANNER AND OPTICAL SCANNER MANUFACTURING METHOD
(FR) SCANNER OPTIQUE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN SCANNER OPTIQUE
(JA) 光スキャナ及び光スキャナの製造方法
Abrégé : front page image
(EN)An optical scanner includes a body portion (2) mounted on a base (3). The body portion (2) is a thin rectangular silicon substrate having a thickness of approximately 30 to 200 µm. The body portion (2) has a fixed frame (6), a reflection mirror unit (8), and beams (16A, 16B) which are formed by mirror side plate springs (17A, 17B), connection portions (20A, 20B), and frame side plate springs (18A to 18D). Lower electrodes (21A, 21B) and upper electrodes (23A, 23B) are layered to sandwich a piezoelectric element (22A) of the body portion (2) and divided along an oscillation axis (15) on the fixed frame (6). Moreover, lower electrodes (21C, 21D) and upper electrodes (23C, 23D) are layered to sandwich a piezoelectric element (22B) and divided along the oscillation axis (15) on the fixed frame (6).
(FR)L'invention concerne un scanner optique comportant une partie corps (2) montée sur une base (3). La partie corps (2) est un substrat de silicium mince et rectangulaire possédant une épaisseur d'environ 30 à 200 µm. La partie corps (2) possède une structure fixe (6), une unité de miroir réfléchissant (8) et des faisceaux (16A, 16B) qui sont formés par des ressorts à lames latéraux de miroir (17A, 17B), des parties de raccordement (20A, 20B) et des ressorts à lames latéraux de structure (18A à 18D). Des électrodes inférieures (21A, 21B) et des électrodes supérieures (23A, 23B) sont disposées de façon à intercaler un élément piézoélectrique (22A) de la partie corps (2) et réparties le long d'un axe d'oscillation (15) sur la structure fixe (6). De plus, des électrodes inférieures (21C, 21D) et des électrodes supérieures (23C, 23D) sont disposées de façon à intercaler un élément piézoélectrique (22A) et réparties le long de l'axe d'oscillation (15) sur la structure fixe (6).
(JA) 厚さ約30μm~200μmの薄長四角形のシリコン基材上において、固定枠6、反射ミラー部8及び各はり部16A、16Bを構成する各ミラー側板ばね部17A、17B、各接続部20A、20B、各枠側板ばね部18A~18Dから構成される本体部2を形成する。そして、本体部2の圧電素子22Aを挟んで積層された各下部電極21A、21Bと各上部電極23A、23Bとは、揺動軸15に沿って固定枠6上で分割されて積層されている。また、圧電素子22Bを挟んで積層された各下部電極21C、21Dと各上部電極23C、23Dとは、揺動軸15に沿って固定枠6上で分割されて積層されている。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)