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1. (WO2009087805) MODULATEUR SPATIAL DE LUMIÈRE, SYSTÈME OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE, DISPOSITIF D'ALIGNEMENT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/087805    N° de la demande internationale :    PCT/JP2008/069998
Date de publication : 16.07.2009 Date de dépôt international : 04.11.2008
CIB :
G02B 26/08 (2006.01), G02B 5/08 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo, 1008331 (JP) (Tous Sauf US).
TANITSU, Osamu [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : TANITSU, Osamu; (JP)
Mandataire : YAMAGUCHI, Takao; Daiichi Bldg., 10, Kanda-tsukasacho 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo, 1010048 (JP)
Données relatives à la priorité :
2008-003787 11.01.2008 JP
Titre (EN) SPATIAL LIGHT MODULATOR, ILLUMINATION OPTICAL SYSTEM, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) MODULATEUR SPATIAL DE LUMIÈRE, SYSTÈME OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE, DISPOSITIF D'ALIGNEMENT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
(JA) 空間光変調器、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法
Abrégé : front page image
(EN)An illumination optical system enabling a desired pupil intensity distribution, for example, by curbing the influence of diffracted light generated from around numerous regularly arranged micro-mirror elements. An illumination optical system (IL) for illuminating a surface (M) to be irradiated with light from a light source (1) comprises a spatial light modulator (3a) for modulating and emitting incident light and a distribution forming optical system (4, 5) for forming a predetermined light intensity distribution in an illumination pupil from a light flux which has passed through the spatial light modulator. The spatial light modulator includes two-dimensionally arranged and individually controlled optical elements, and at least part of a light incident region other than the optical elements has a diffusing surface for diffusing the incident light.
(FR)L'invention porte sur un système optique d'éclairage permettant la distribution d'intensité de pupille voulue, par exemple en limitant l'influence d'une lumière diffractée générée à partir des environs de nombreux éléments de micromiroir disposés de façon régulière. Un système optique d'éclairage (IL) pour éclairer une surface (M) devant être irradiée par de la lumière venant d'une source de lumière (1) comporte un modulateur spatial de lumière (3a) pour moduler et émettre une lumière incidente et un système optique de formation de distribution (4, 5) pour former une distribution d'intensité de lumière prédéterminée dans une pupille d'éclairage à partir d'un flux de lumière qui a traversé le modulateur spatial de lumière. Le modulateur spatial de lumière comprend des éléments optiques disposés suivant deux dimensions et commandés individuellement, et au moins une partie d'une région incidente de lumière autre que les éléments optiques présente une surface de diffusion pour diffuser la lumière incidente.
(JA) 例えば規則的に配置された多数の微小なミラー要素の周囲から発生する回折光の影響を抑えて、所望の瞳強度分布を実現することのできる照明光学系。光源(1)からの光に基づいて被照射面(M)を照明する照明光学系(IL)は、入射光を変調して射出する空間光変調器(3a)と、空間光変調器を介した光束に基づいて照明瞳に所定の光強度分布を形成する分布形成光学系(4,5)とを備えている。空間光変調器は、二次元的に配列されて個別に制御される複数の光学要素を備え、複数の光学要素以外の光入射領域のうちの少なくとも一部の領域は、入射光を拡散させる拡散面を有する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)