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1. (WO2009086042) DISPOSITIFS ET PROCÉDÉS DESTINÉS À DÉTERMINER DES POSITIONS ET DES DÉVIATIONS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/086042    N° de la demande internationale :    PCT/US2008/087578
Date de publication : 09.07.2009 Date de dépôt international : 19.12.2008
CIB :
H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01)
Déposants : LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway, Fremont, CA 94538 (US) (Tous Sauf US).
ALLEN-BLANCHETTE, Christine [US/US]; (US) (US Seulement).
RODNICK, Matt [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : ALLEN-BLANCHETTE, Christine; (US).
RODNICK, Matt; (US)
Mandataire : NGUYEN, Joseph A.; P.O. Box 700640, San Jose, CA 95170 (US)
Données relatives à la priorité :
61/017,148 27.12.2007 US
Titre (EN) ARRANGEMENTS AND METHODS FOR DETERMINING POSITIONS AND OFFSETS
(FR) DISPOSITIFS ET PROCÉDÉS DESTINÉS À DÉTERMINER DES POSITIONS ET DES DÉVIATIONS
Abrégé : front page image
(EN)A method for determining positions and offsets in a plasma processing system, the plasma processing system including at least a chuck and an upper electrode is provided. The method including moving a traversing assembly along a first plurality of paths to generate a first plurality of data sets, the traversing assembly including at least a light source, the light source providing a light beam, moving the traversing assembly along each path of the first plurality of paths causing the light beam to traverse the chuck and resulting in one or more data sets of the first plurality of data sets. The method also including receiving the first plurality of data sets and analyzing the first plurality of data sets to identify a first set of at least three discontinuities, wherein the first set of at least three discontinuities are related to three or more reflected light signals generated when the light beam encounters an edge of the chuck. The method also including determining a center of the chuck using coordinate data associated with the first set of at least three discontinuities.
(FR)L'invention concerne un procédé destiné à déterminer des positions et des déviations dans un système de traitement au plasma, ce système comprenant au moins un mandrin et une électrode supérieure. Le procédé consiste à déplacer un assemblage traversant le long de plusieurs premiers trajets afin de produire plusieurs premiers ensembles de données, l'assemblage traversant comprend au moins une source lumineuse, cette source lumineuse produisant un faisceau lumineux, déplaçant l'assemblage traversant le long de chaque trajet de plusieurs premiers trajets faisant traverser le mandrin au faisceau lumineux et résultant en au moins un ensemble de données parmi les premiers ensembles de données. Le procédé consiste également à recevoir ces premiers ensembles de données et à les analyser afin d'identifier un premier ensemble d'au moins trois discontinuités, ce premier ensemble d'au moins trois discontinuités étant reliés à au moins trois signaux lumineux réfléchis produits lorsque le faisceau lumineux rencontre un bord du mandrin. Ce procédé consiste enfin à déterminer le centre du mandrin au moyen des données coordonnées associées au premier ensemble d'au moins trois discontinuités.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)