WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2009084644) APPAREIL D'EXPOSITION, PROCÉDÉ D'EXPOSITION, APPAREIL DE NETTOYAGE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/084644    N° de la demande internationale :    PCT/JP2008/073765
Date de publication : 09.07.2009 Date de dépôt international : 26.12.2008
CIB :
H01L 21/027 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (Tous Sauf US).
SHIBAZAKI, Yuichi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : SHIBAZAKI, Yuichi; (JP)
Mandataire : SHIGA, Masatake; 1-9-2, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1006620 (JP)
Données relatives à la priorité :
2007-340876 28.12.2007 JP
2007-340877 28.12.2007 JP
Titre (EN) EXPOSURE APPARATUS, EXPOSURE METHOD, CLEANING APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) APPAREIL D'EXPOSITION, PROCÉDÉ D'EXPOSITION, APPAREIL DE NETTOYAGE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
(JA) 露光装置、露光方法、クリーニング装置、及びデバイス製造方法
Abrégé : front page image
(EN)An exposure apparatus exposes a substrate to an exposure beam through a liquid. The exposure apparatus is provided with an optical member having an emitting surface from which the exposure beam is emitted; a mobile body which moves within a prescribed surface, including a position facing the emitting surface; and a prescribed member which moves between the optical member and the mobile body and forms a space for holding the liquid between the prescribed member and the optical member.
(FR)L'invention porte sur un appareil d'exposition qui expose un substrat à un faisceau d'exposition à travers un liquide. L'appareil d'exposition comprend un élément optique muni d'une surface d'émission qui émet le faisceau d'exposition ; un corps mobile qui se déplace dans les limites d'une ère établie, et peut donc se trouver face à la surface d'émission ; et un élément prescrit qui se déplace entre l'élément optique et le corps mobile, et forme un espace de rétention du liquide situé entre l'élément prescrit et l'élément optique.
(JA) 露光装置は、液体を介して露光光で基板を露光する。露光装置は、露光光を射出する射出面を有する光学部材と、射出面と対向する位置を含む所定面内を移動可能な移動体と、光学部材と移動体との間において移動可能で、光学部材との間で液体を保持する空間を形成可能な所定部材とを備えている。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)