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1. (WO2009084630) SYSTÈME DE DIAGNOSTIC DE ROBOT DE TRANSFERT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/084630    N° de la demande internationale :    PCT/JP2008/073731
Date de publication : 09.07.2009 Date de dépôt international : 26.12.2008
CIB :
H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
Déposants : ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP) (Tous Sauf US).
FUJII, Yoshinori [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : FUJII, Yoshinori; (JP)
Mandataire : SEIGA Patent and Trademark Corporation; 9th Fl., Saisho Bldg. 8-1-14, Nishi-Gotanda, Shinagawa-ku Tokyo 1410031 (JP)
Données relatives à la priorité :
2007-337164 27.12.2007 JP
Titre (EN) TRANSFER ROBOT DIAGNOSIS SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE DIAGNOSTIC DE ROBOT DE TRANSFERT
(JA) 搬送ロボットの診断システム
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed is a low-cost transfer robot diagnosis system wherein the operating rate is improved without increasing the number of part items. When any one of detecting means (2) detects a robot arm (11) at the time of transferring a substrate (S) by the robot arm (11) between processing chambers (C), operation data of the robot arm (11) detected by the detecting means (2) is acquired and a reference value is created. Then, every time the robot arm (11) is detected by the detecting means (2), operation data is acquired and compared with the reference value, and when the operation data changes by exceeding a prescribed range, the transfer robot is judged abnormal.
(FR)L'invention porte sur un système de diagnostic de robot de transfert à bas coût dans lequel la cadence de fonctionnement est augmentée sans augmenter le nombre de pièces. Lorsque l'un des moyens de détection (2) détecte un bras de robot (11) au moment du transfert d'un substrat (S) par le bras de robot (11) entre des chambres de traitement (C), des données de fonctionnement du bras de robot (11) détectées par les moyens de détection (2) sont acquises et une valeur de référence est créée. Puis, chaque fois que le bras de robot (11) est détecté par les moyens de détection (2), des données de fonctionnement sont acquises et comparées à la valeur de référence ; lorsque la variation des données de fonctionnement dépasse une plage prescrite, le robot de transfert est déterminé comme anormal.
(JA) 部品点数の増加を招くことなく、稼働率の向上を図ることができる低コストの搬送ロボットの診断システムを提供する。処理室C間でロボットアーム(11)により基板(S)を搬送する際にいずれかの検知手段(2)でロボットアーム(11)が検知される場合、検知手段(2)で検知されるロボットアーム(11)の作動データを取得して基準値を作製する。そして、ロボットアーム(11)が検知手段(2)で検知される毎に作動データを取得して前記基準値と比較し、所定の範囲を超えて変化した場合に搬送ロボットの異常を判断する。 
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)