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1. (WO2009084406) APPAREIL DE TRAITEMENT DE LIQUIDES, PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE LIQUIDES ET SUPPORT DE STOCKAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/084406    N° de la demande internationale :    PCT/JP2008/072626
Date de publication : 09.07.2009 Date de dépôt international : 12.12.2008
CIB :
H01L 21/304 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP) (Tous Sauf US).
KAMIKAWA, Yuji [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
ITO, Norihiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
HIGASHIJIMA, Jiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : KAMIKAWA, Yuji; (JP).
ITO, Norihiro; (JP).
HIGASHIJIMA, Jiro; (JP)
Mandataire : YOSHITAKE, Kenji; Kyowa Patent & Law Office, Room 323 Fuji Bldg., 2-3, Marunouchi 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1000005 (JP)
Données relatives à la priorité :
2007-337053 27.12.2007 JP
2008-203391 06.08.2008 JP
Titre (EN) LIQUID TREATMENT APPARATUS, LIQUID TREATMENT METHOD AND STORAGE MEDIUM
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT DE LIQUIDES, PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE LIQUIDES ET SUPPORT DE STOCKAGE
(JA) 液処理装置、液処理方法および記憶媒体
Abrégé : front page image
(EN)A liquid treatment apparatus (10) comprises a hollow holding plate (1) for holding an article (W) to be treated, a hollow outer rotating shaft (2) fixedly coupled with the holding plate (1), a rotary drive section (3) for rotary driving the outer rotating shaft (2), and a lift pin plate (20) arranged in the cavity of the holding plate (1) and having a lift pin (21) for supporting the article (W) to be treated. A cleaning liquid supply section (25) for supplying the cleaning liquid extends in the lift pin plate (20). An elevating/lowering member (16) for arranging the lift pin plate (20) at an upper position a lower position is coupled with the lift pin plate (20). When the lift pin plate (20) is arranged at the lower position, the lift pin plate (20) is rotary driven by receiving the force of the rotary drive section (3) rotary driving the outer rotating shaft (2).
(FR)L'invention concerne un appareil de traitement de liquides (10) qui comporte une plaque de maintien creuse (1) destinée à maintenir un article (W) à traiter, un arbre tournant externe creux (2), solidaire de la plaque de maintien (1), une section d'entraînement en rotation (3), destinée à entraîner en rotation l'arbre tournant externe (2), et une plaque à ergots de levage (20), disposée dans la cavité de la plaque de maintien (1) et munie d'ergots de levage (21) pour soutenir l'article (W) à traiter. Une section d'alimentation en liquide de nettoyage (25), destinée à fournir le liquide de nettoyage, s'étend dans la plaque à ergots de levage (20). Un organe de levage et d'abaissement (16), destiné à placer la plaque à ergots de levage (20) en une position haute à partir d'une position basse, est relié à la plaque à ergots de levage (20). Lorsque la plaque à ergots de levage (20) est disposée en position basse, elle est entraînée en rotation par l'arbre tournant externe (2), lui-même actionné par la section d'entraînement en rotation (3).
(JA) 液処理装置10は、被処理体Wを保持するとともに、中空になった保持プレート1と、保持プレート1に固定連結され、中空になった外方回転軸2と、外方回転軸2を回転駆動する回転駆動部3と、保持プレート1の中空内に配置されるとともに、被処理体Wを支持するリフトピン21を有するリフトピンプレート20と、を備えている。リフトピンプレート20の内部には、洗浄液を供給する洗浄液供給部25が延在している。リフトピンプレート20には、リフトピンプレート20を上方位置および下方位置に配置させる昇降部材16が連結されている。リフトピンプレート20は、下方位置にあるときに、回転駆動部3が外方回転軸2を回転駆動する力を受けて回転駆動される。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)