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1. (WO2009084196) SYSTÈME DE COMMANDE DE CORPS MOBILE, APPAREIL DE FORMATION DE MOTIF, APPAREIL D'EXPOSITION, PROCÉDÉ D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/084196    N° de la demande internationale :    PCT/JP2008/003950
Date de publication : 09.07.2009 Date de dépôt international : 25.12.2008
CIB :
G01B 11/00 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (Tous Sauf US).
SHIBAZAKI, Yuichi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : SHIBAZAKI, Yuichi; (JP)
Mandataire : TATEISHI, Atsuji; TATEISHI & CO., Karakida Center Bldg. 1-53-9, Karakida, Tama-shi, Tokyo 2060035 (JP)
Données relatives à la priorité :
2007-340706 28.12.2007 JP
Titre (EN) MOVING BODY DRIVING SYSTEM, PATTERN FORMING APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS, EXPOSURE METHOD AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) SYSTÈME DE COMMANDE DE CORPS MOBILE, APPAREIL DE FORMATION DE MOTIF, APPAREIL D'EXPOSITION, PROCÉDÉ D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
(JA) 移動体駆動システム、パターン形成装置、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法
Abrégé : front page image
(EN)A stage is provided with a first scale (46B, 46D) that is arranged on a surface opposite to a stage (WST) in the Y-axis direction as a longitudinal direction and in which a first lattice is formed with the X-axis direction defined as a periodical direction, a second scale (46A, 46C) that is arranged in the X-axis direction as a longitudinal direction and in which a second lattice is formed to cross at right angles with the first lattice. Further, a plurality of X-heads (661-665) arranged differently from each other at positions of the X-axis direction and a plurality of Y-heads (641-645) arranged differently from each other at positions of the Y-axis direction are provided on the upper surface of the stage. An encoder system provided with these heads measures position information in the X-Y plane of the stage in accordance with an output of the X-head set opposite to the first scale and an output of the Y-head set opposite to the second scale.
(FR)Un étage est doté d'une première échelle (46B, 46D) qui est disposée sur une surface opposée à un étage (WST) dans la direction de l'axe Y en tant que direction longitudinale, un premier réseau étant formé avec la direction de l'axe X définie comme une direction périodique, une seconde échelle (46A, 46C) qui est disposée dans la direction de l'axe X en tant que direction longitudinale, un second réseau étant formé de manière à croiser le premier réseau à angles droits. En outre, une pluralité de têtes X (661-665) disposées de façon différente les unes par rapport aux autres à des positions de la direction de l'axe X et une pluralité de têtes Y (641-645) disposées de façon différente les unes par rapport aux autres à des positions de la direction de l'axe Y sont prévues sur la surface supérieure de l'étage. Un système de codeur doté de ces têtes mesure des informations de position dans le plan X-Y de l'étage en fonction d'une sortie de la tête X placée à l'opposé de la première échelle et d'une sortie de la tête Y placée à l'opposé de la seconde échelle.
(JA) ステージ装置は、ステージ(WST)が対向する面上に、Y軸方向を長手方向として配置され、X軸方向を周期方向とする第1格子が形成された第1スケール(46B、46D)と、X軸方向を長手方向として配置され、第1格子と周期方向が直交する第2格子が形成された第2スケール(46A、46C)とを備えている。また、ステージの上面には、X軸方向の位置を異ならせて配置された複数のXヘッド(661~665)と、Y軸方向の位置を異ならせて配置された複数のYヘッド(641~645)と、が設けられている。これらのヘッドを有するエンコーダシステムは、第1スケールに対向するXヘッドの出力と、第2スケールに対向するYヘッドの出力とに基づいて、ステージのXY平面内の位置情報を計測する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)