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1. (WO2009082539) CAPTEUR DE TEMPÉRATURE REDONDANT POUR DES CHAMBRES DE TRAITEMENT DE SEMI-CONDUCTEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/082539    N° de la demande internationale :    PCT/US2008/080810
Date de publication : 02.07.2009 Date de dépôt international : 22.10.2008
CIB :
G01K 7/04 (2006.01), G01K 13/00 (2006.01), G01K 15/00 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : ASM AMERICA, INC. [US/US]; 3440 East University Drive, Phoenix, AZ 85233 (US) (Tous Sauf US)
Inventeurs : AGGARWAL, Ravinder; (US).
KLESHOCK, Mark; (US).
JACOBS, Loren; (US)
Mandataire : DELANEY, Karoline, A.; Knobbe, Martens, Olson & Bear, LLP, 2040 Main Street, 14th Floor, Irvine, CA 92614 (US)
Données relatives à la priorité :
11/961,671 20.12.2007 US
Titre (EN) REDUNDANT TEMPERATURE SENSOR FOR SEMICONDUCTOR PROCESSING CHAMBERS
(FR) CAPTEUR DE TEMPÉRATURE REDONDANT POUR DES CHAMBRES DE TRAITEMENT DE SEMI-CONDUCTEUR
Abrégé : front page image
(EN)Systems are provided for measuring temperature in a semiconductor processing chamber. Embodiments provide a multi-junction thermocouple (110) comprising a first junction (112) and a second junction (114) positioned to measure temperature at substantially the same portion of a substrate (16). A controller (120) may detect failures in the first junction (112), the second junction (114), a first wire pair (113) extending from the first junction (112), or a second wire pair (115) extending from the second junction (114). The controller (120) desirably responds to a detected failure of the first junction (112) or first wire pair (113) by selecting the second junction (114) and second wire pair (115). Conversely, the controller (120) desirably responds to a detected failure of the second junction (114) or second wire pair (115) by selecting the first junction (112) and first wire pair (113). Systems taught herein may permit accurate and substantially uninterrupted temperature measurement despite failure of a junction or wire pair in a thermocouple.
(FR)L'invention porte sur des systèmes pour mesurer la température dans une chambre de traitement de semi-conducteur. Des modes de réalisation portent sur un thermocouple à multiples jonctions (110) comprenant une première jonction (112) et une seconde jonction (114) disposées pour mesurer une température sensiblement à la même partie d'un substrat (16). Un contrôleur (120) peut détecter des défaillances dans la première jonction (112), la seconde jonction (114), une première paire de fils (113) s'étendant à partir de la première jonction (112) ou une seconde paire de fils (115) s'étendant à partir de la seconde jonction (114). Le contrôleur (120) répond de façon souhaitable à une défaillance détectée de la première jonction (112) ou de la première paire de fils (113) par la sélection de la seconde jonction (114) et de la seconde paire de fils (115). Inversement, le contrôleur (120) répond de façon souhaitable à une défaillance détectée de la seconde jonction (114) ou de la seconde paire de fils (115) par la sélection de la première jonction (112) et de la première paire de fils (113). Les systèmes divulgués qui peuvent permettre une mesure de température sensiblement non interrompue et précise malgré la défaillance d'une jonction ou d'une paire de fils dans un thermocouple.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)