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1. (WO2009080312) SOURCE D'ÉLECTRONS LINÉAIRE, ÉVAPORATEUR UTILISANT LA SOURCE D'ÉLECTRONS LINÉAIRE, ET APPLICATIONS DE SOURCES D'ÉLECTRONS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/080312    N° de la demande internationale :    PCT/EP2008/010923
Date de publication : 02.07.2009 Date de dépôt international : 19.12.2008
CIB :
H01J 37/077 (2006.01), H01J 37/305 (2006.01), C23C 14/30 (2006.01), G21K 5/00 (2006.01), H05B 7/00 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue, Santa Clara, CA 95054 (US) (Tous Sauf US).
KLEMM, Guenter [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
HACKER, Volker [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
LOTZ, Hans-Georg [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : KLEMM, Guenter; (DE).
HACKER, Volker; (DE).
LOTZ, Hans-Georg; (DE)
Mandataire : ZIMMERMANN, Gerd; Zimmermann & Partner, Isartorplatz 1, 80331 Munich (DE)
Données relatives à la priorité :
07024959.4 21.12.2007 EP
61/016,349 21.12.2007 US
Titre (EN) LINEAR ELECTRON SOURCE, EVAPORATOR USING LINEAR ELECTRON SOURCE, AND APPLICATIONS OF ELECTRON SOURCES
(FR) SOURCE D'ÉLECTRONS LINÉAIRE, ÉVAPORATEUR UTILISANT LA SOURCE D'ÉLECTRONS LINÉAIRE, ET APPLICATIONS DE SOURCES D'ÉLECTRONS
Abrégé : front page image
(EN)An evaporation apparatus for evaporating a material to be deposited is described. The evaporation apparatus includes at least one evaporation crucible having a body with an area for receiving the material to be deposited at one side; a linear electron source (100) being positioned adjacent to the evaporation crucible for impingement of an electron beam on another side. The linear electron source includes a housing (112) acting as a first electrode, the housing having side walls (312); slit opening (114) in the housing for trespassing of a electron beam, the slit opening defining a length direction of the source; a second electrode being arranged within the housing and having a first side (413) facing the slit opening; and at least one gas supply for providing a gas into the housing, wherein the first electrode is the anode and the second electrode is the cathode.
(FR)L'invention concerne un appareil d'évaporation pour faire évaporer une matière devant être déposée. L'appareil d'évaporation comprend au moins un creuset d'évaporation comportant un corps avec une surface pour recevoir la matière devant être déposée sur un côté, une source d'électrons linéaire (100) étant positionnée à côté du creuset d'évaporation pour qu'un faisceau d'électrons heurte un autre côté. La source d'électrons linéaire comprend un logement (112) servant de première électrode, le logement ayant des parois latérales (312) ; une ouverture en forme de fente (114) dans le logement pour le passage d'un faisceau d'électrons, l'ouverture en forme de fente définissant une direction de longueur de la source ; une seconde électrode étant disposée dans le logement et ayant un premier côté (413) orienté face à l'ouverture en forme de fente ; et au moins une alimentation en gaz pour fournir un gaz dans le logement, la première électrode étant l'anode et la seconde électrode étant la cathode.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)