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1. WO2009079460 - MICROACTIONNEUR ÉLECTROTHERMIQUE POUR DÉPLACEMENT VERTICAL IMPORTANT SANS INCLINAISON OU GLISSEMENT LATÉRAL

Numéro de publication WO/2009/079460
Date de publication 25.06.2009
N° de la demande internationale PCT/US2008/086844
Date du dépôt international 15.12.2008
CIB
B81B 7/00 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
BDISPOSITIFS OU SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE, p.ex. DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES
7Systèmes à microstructure
B81B 3/00 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
BDISPOSITIFS OU SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE, p.ex. DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES
3Dispositifs comportant des éléments flexibles ou déformables, p.ex. comportant des membranes ou des lamelles élastiques
F03C 99/00 2010.01
FMÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
03"MACHINES" OU MACHINES MOTRICES À LIQUIDES; MÉCANISMES MOTEURS À VENT, À RESSORTS, À POIDS; PRODUCTION D'ÉNERGIE MÉCANIQUE OU DE POUSSÉE PROPULSIVE PAR RÉACTION, NON PRÉVUE AILLEURS
CMACHINES MOTRICES À DÉPLACEMENT POSITIF ACTIONNÉES PAR DES LIQUIDES
99Matière non prévue dans les autres groupes de la présente sous-classe
F03G 7/06 2006.01
FMÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
03"MACHINES" OU MACHINES MOTRICES À LIQUIDES; MÉCANISMES MOTEURS À VENT, À RESSORTS, À POIDS; PRODUCTION D'ÉNERGIE MÉCANIQUE OU DE POUSSÉE PROPULSIVE PAR RÉACTION, NON PRÉVUE AILLEURS
GMÉCANISMES MOTEURS À RESSORTS, À POIDS, À INERTIE OU ANALOGUES; DISPOSITIFS OU MÉCANISMES PRODUISANT UNE PUISSANCE MÉCANIQUE, NON PRÉVUS AILLEURS OU UTILISANT UNE SOURCE D'ÉNERGIE NON PRÉVUE AILLEURS
7Mécanismes produisant une puissance mécanique, non prévus ailleurs ou utilisant une source d'énergie non prévue ailleurs
06utilisant la dilatation ou la contraction des corps produites par le chauffage, le refroidissement, l'humidification, le séchage ou par des phénomènes similaires
CPC
B81B 2201/032
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2201Specific applications of microelectromechanical systems
03Microengines and actuators
032Bimorph and unimorph actuators, e.g. piezo and thermo
B81B 2201/047
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2201Specific applications of microelectromechanical systems
04Optical MEMS
047Optical MEMS not provided for in B81B2201/042 - B81B2201/045
B81B 2203/053
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2203Basic microelectromechanical structures
05Type of movement
053Translation according to an axis perpendicular to the substrate
B81B 3/0024
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
3Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
0018Structures acting upon the moving or flexible element for transforming energy into mechanical movement or vice versa, i.e. actuators, sensors, generators
0024Transducers for transforming thermal into mechanical energy or vice versa, e.g. thermal or bimorph actuators
Déposants
  • UNIVERSITY OF FLORIDA RESEARCH FOUNDATION, INC. [US]/[US] (AllExceptUS)
  • WU, Lei [CN]/[US] (UsOnly)
  • XIE, Huikai [CN]/[US] (UsOnly)
Inventeurs
  • WU, Lei
  • XIE, Huikai
Mandataires
  • PARKER, James, S.
Données relatives à la priorité
61/007,76214.12.2007US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) ELECTROTHERMAL MICROACTUATOR FOR LARGE VERTICAL DISPLACEMENT WITHOUT TILT OR LATERAL SHIFT
(FR) MICROACTIONNEUR ÉLECTROTHERMIQUE POUR DÉPLACEMENT VERTICAL IMPORTANT SANS INCLINAISON OU GLISSEMENT LATÉRAL
Abrégé
(EN)
A microactuator for displacing a platform vertically with respect to a substrate includes a first rigid frame, a first flexible bimorph beam connecting the first frame to the substrate, a second rigid frame, a second flexible bimorph beam connecting the second frame to the first frame, and a third flexible bimorph beam connecting a platform to the second frame. Activation of the first, second, and third flexible bimorph beams allows vertical displacement of the platform with respect to the substrate, with negligible lateral shift. A microactuator assembly includes a substrate, a plurality of first rigid frames, a plurality of first flexible bimorph beams, a plurality of second rigid frames, a plurality of second flexible bimorph beams, a platform, and a plurality of third flexible bimorph beams. Activation of the first, second, and third bimorph beams allows vertical displacement of the platform with respect to the substrate, with negligible lateral shift. A further embodiment with four identical such microactuators oriented at four sides of the platform, can achieve ID or 2D angular scanning of the mirror plate by the activation of 1 or 2 adjacent microactuators.
(FR)
Un micro-actionneur destiné à déplacer une plate-forme à la verticale par rapport à un substrat comprend un premier cadre rigide, une première traverse bimorphe flexible reliant le premier cadre au substrat, un second cadre rigide, une deuxième traverse bimorphe flexible reliant le second cadre au premier cadre, et une troisième traverse bimorphe flexible reliant une plate-forme au second cadre. L'activation des première, deuxième et troisième traverses bimorphes flexibles permet le déplacement vertical de la plate-forme par rapport au substrat, avec un glissement latéral négligeable. Un ensemble micro-actionneur comprend un substrat, une pluralité de premiers cadres rigides, une pluralité de premières traverses bimorphes flexibles, une pluralité de seconds cadres rigides, une pluralité de deuxièmes traverses bimorphes flexibles, une plate-forme, et une pluralité de troisièmes traverses bimorphes flexibles. L'activation des première, deuxième et troisième traverses bimorphes permet le déplacement vertical de la plate-forme par rapport au substrat, avec un glissement latéral négligeable. Un autre mode de réalisation comportant quatre micro-actionneurs identiques de ce type orientés aux quatre coins de la plate-forme peut réaliser un balayage angulaire 1D ou 2D de la plaque-miroir par l'activation d'1 ou de 2 micro-actionneurs adjacents.
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