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1. WO2009073857 - SYSTÈME ET PROCÉDÉ POUR LA FABRICATION COMMERCIALE DE DISQUES À SUBSTRAT STRUCTURÉ

Numéro de publication WO/2009/073857
Date de publication 11.06.2009
N° de la demande internationale PCT/US2008/085728
Date du dépôt international 05.12.2008
CIB
G11B 17/00 2006.01
GPHYSIQUE
11ENREGISTREMENT DE L'INFORMATION
BENREGISTREMENT DE L'INFORMATION BASÉ SUR UN MOUVEMENT RELATIF ENTRE LE SUPPORT D'ENREGISTREMENT ET LE TRANSDUCTEUR
17Guidage des supports d'enregistrement n'ayant pas spécifiquement la forme d'un fil ou d'une bande ainsi que de leurs supports
CPC
G11B 5/84
GPHYSICS
11INFORMATION STORAGE
BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
5Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
84Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
G11B 5/855
GPHYSICS
11INFORMATION STORAGE
BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
5Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
84Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
855Coating only part of a support with a magnetic layer
H01J 37/3438
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
34operating with cathodic sputtering
3411Constructional aspects of the reactor
3438Electrodes other than cathode
Déposants
  • INTEVAC, INC. [US]/[US] (AllExceptUS)
  • FAIRBAIRN, Kevin, P. [US]/[US] (UsOnly)
  • BARNES, Michael, S. [US]/[US] (UsOnly)
  • BLUCK, Terry [US]/[US] (UsOnly)
  • XU, Ren [US]/[US] (UsOnly)
  • LIU, Charles [US]/[US] (UsOnly)
  • KERNS, Ralph [US]/[US] (UsOnly)
Inventeurs
  • FAIRBAIRN, Kevin, P.
  • BARNES, Michael, S.
  • BLUCK, Terry
  • XU, Ren
  • LIU, Charles
  • KERNS, Ralph
Mandataires
  • BACH, Joseph
Données relatives à la priorité
60/992,97206.12.2007US
61/052,13109.05.2008US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) SYSTEM AND METHOD FOR COMMERCIAL FABRICATION OF PATTERNED MEDIA
(FR) SYSTÈME ET PROCÉDÉ POUR LA FABRICATION COMMERCIALE DE DISQUES À SUBSTRAT STRUCTURÉ
Abrégé
(EN)
A system is provided for etching patterned media disks for hard drive. The modular system may be tailored to perform specific processes sequences so that a patterned media disk is fabricated without removing the disk from vacuum environment. In some sequence the magnetic stack is etched while in other the etch is performed prior to forming the magnetic stack. In a further sequence ion implantation is used without etching steps. For etching a movable non-contact electrode is utilized to perform sputter etch. The cathode moves to near contact distance to, but not contacting, the substrate so as to couple RF energy to the disk. The substrate is held vertically in a carrier and both sides are etched serially. That is, one side is etched in one chamber and then in the next chamber the second side is etched.
(FR)
L'invention propose un système pour graver des disques à substrat structuré pour unités à disque dur. Le système modulaire peut être adapté pour exécuter des séquences de processus spécifiques, de façon à fabriquer un disque à substrat structuré sans extraire le disque d'un environnement sous vide. Dans certaines séquences, l'empilement magnétique est gravé, tandis que dans d'autres la gravure est effectuée avant la formation de l'empilement magnétique. Dans une autre séquence encore, on recourt à l'implantation d'ions sans passer par une étape de gravure. Lors d'une gravure, une électrode sans contact mobile est utilisée afin de procéder à une gravure ionique. La cathode se déplace à une distance de quasi-contact avec le substrat, mais sans établir de contact, de manière à coupler l'énergie RF au disque. Le substrat est maintenu verticalement dans un support et les deux côtés sont gravés en série. Autrement dit, un premier côté est gravé dans une chambre, puis le second côté est gravé dans la chambre voisine.
Également publié en tant que
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