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1. (WO2009036365) PROCÉDÉ ET APPAREIL D'IMAGERIE AUTOMATIQUE À SONDE LOCALE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/036365    N° de la demande internationale :    PCT/US2008/076284
Date de publication : 19.03.2009 Date de dépôt international : 12.09.2008
CIB :
G01Q 60/00 (2010.01), G01Q 70/00 (2010.01), H01J 37/26 (2006.01)
Déposants : VEECO INSTRUMENTS, INC. [US/US]; Terminal Drive, Plainview, New York 11803 (US) (Tous Sauf US).
SU, Chanmin [US/US]; (US) (US Seulement).
BELIKOV, Sergey [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : SU, Chanmin; (US).
BELIKOV, Sergey; (US)
Mandataire : DURST, Jay; Boyle Fredrickson, SC, 840 N. Plankinton Avenue, Milwaukee, Wisconsin 53203 (US)
Données relatives à la priorité :
60/971,828 12.09.2007 US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS OF AUTOMATIC SCANNING PROBE IMAGING
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL D'IMAGERIE AUTOMATIQUE À SONDE LOCALE
Abrégé : front page image
(EN)A method of operating a scanning probe microscope (SPM) (10) includes scanning (36) a sample (22) as a probe (14) of the SPM (10) interacts with a sample (22), and collecting sample surface data in response to the scanning step (36). The method identifies (38) a feature of the sample (22) from the sample surface data and automatically performs a zoom-in scan (42) of the feature based on the identifying step (38). The method operates to quickly identify and confirm the location of features of interest, such as nano-asperities, so as to facilitate performing a directed high resolution image of the feature.
(FR)Un procédé d'emploi d'un microscope à sonde locale (SPM) (10) comporte le balayage (36) d'un échantillon (22) lorsqu'une sonde (14) du SPM (10) interagit avec un échantillon (22), et la collecte de données de surface de l'échantillon en réponse à l'étape de balayage (36). Le procédé identifie (38) une caractéristique de l'échantillon (22) à partir des données de surface de l'échantillon et effectue automatiquement un balayage rapproché (42) de la caractéristique sur la base de l'étape d'identification (38). Le procédé fonctionne pour identifier et confirmer rapidement la position des caractéristiques intéressantes, telles que des nano-aspérités, afin de faciliter l'obtention d'une image dirigée de résolution élevée de la caractéristique.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)