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1. (WO2009035123) MANOMÈTRE DE PIRANI
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/035123    N° de la demande internationale :    PCT/JP2008/066660
Date de publication : 19.03.2009 Date de dépôt international : 16.09.2008
CIB :
G01L 21/12 (2006.01)
Déposants : CANON ANELVA TECHNIX CORPORATION [JP/JP]; 2-5-1 Kurigi, Asao-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2158550 (JP) (Tous Sauf US).
KAWASAKI, Yohsuke [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : KAWASAKI, Yohsuke; (JP)
Mandataire : OKABE, Masao; No. 602, Fuji Bldg. 2-3, Marunouchi 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 100-0005 (JP)
Données relatives à la priorité :
2007-238040 13.09.2007 JP
Titre (EN) PIRANI GAUGE
(FR) MANOMÈTRE DE PIRANI
(JA) ピラニ真空計
Abrégé : front page image
(EN)Provided is a Pirani gauge, which is improved in responsibility to an abrupt pressure rise and which is freed from a restriction of an measuring element container in the mounting direction on a vacuum container. The Pirani gauge is equipped, in the measuring element container, with a heat filament made of a metal wire and a heat filament support for supporting the heat filament, so that the Pirani gauge measures the pressure of a gas from the calorie which is taken away from the heat filament by gas molecules impinging upon the heat filament. The Pirani gauge is characterized in that the measuring element container is filled therein with a metal material and has a first cylindrical hole and a second cylindrical hole formed therein, and in that the heat filament is inserted into the first cylindrical hole whereas the heat filament support is inserted into the second cylindrical hole.
(FR)La présente invention concerne un manomètre de Pirani dont la responsabilité vis-à-vis d'une brusque montée de pression est améliorée et qui n'est pas limité par un contenant d'élément de mesure dans le sens de montage sur un contenant sous vide. Le manomètre de Pirani est équipé, dans le contenant d'élément de mesure, d'un filament thermique fait d'un fil métallique et d'un support de filament thermique destiné à soutenir ledit filament, de sorte que le manomètre de Pirani mesure la pression d'un gaz à partir des calories qui sont enlevées dudit filament par les molécules de gaz venant le percuter. Ledit manomètre est caractérisé en ce que le contenant d'élément de mesure est rempli d'un matériau métallique et présente un premier trou cylindrique et un second trou cylindrique formés dans celui-ci, et en ce que le filament thermique est inséré dans le premier trou cylindrique tandis que le support du filament thermique est inséré dans le second trou cylindrique.
(JA)急激な圧力上昇に対する応答性を向上させるとともに、真空容器への測定子容器の取り付け方向の制約を無くしたピラニ真空計を提供する。金属線からなる熱フィラメントと該熱フィラメントを支持する熱フィラメント支持体とを測定子容器の内部に有し、気体分子が前記熱フィラメントに衝突することによって前記熱フィラメントから奪い去る熱量から気体の圧力を測定するピラニ真空計において、前記測定子容器内部は金属材料が充填しており、その内部に第1の円筒穴と第2の円筒穴とを設け、前記熱フィラメントを前記第1の円筒穴に挿通し、前記フィラメント支持体を第2の円筒穴に挿通したことを特徴とする。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)