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1. (WO2009033709) MICRO-OPTIQUE D'IMAGERIE POUR MESURER LA POSITION D'UNE IMAGE AÉRIENNE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/033709    N° de la demande internationale :    PCT/EP2008/007568
Date de publication : 19.03.2009 Date de dépôt international : 12.09.2008
CIB :
G02B 21/02 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : CARL ZEISS SMT AG [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2, 73447 Oberkochen (DE) (Tous Sauf US).
ROSTALSKI, Hans-Jürgen [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
FELDMANN, Heiko [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : ROSTALSKI, Hans-Jürgen; (DE).
FELDMANN, Heiko; (DE)
Mandataire : SCHORR, Frank; Diehl & Partner GbR, Augustenstrasse 46, 80333 München (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2007 043 896.8 14.09.2007 DE
Titre (EN) IMAGING MICROOPTICS FOR MEASURING THE POSITION OF AN AERIAL IMAGE
(FR) MICRO-OPTIQUE D'IMAGERIE POUR MESURER LA POSITION D'UNE IMAGE AÉRIENNE
Abrégé : front page image
(EN)The present invention provides an imaging microoptics, which is compact and robust, e.g. by including at least one aspherical member and by having a folded beam path, and which provides a magnification | β' | of > 800 by magnitude. Furthermore, the invention provides a system for positioning a wafer with respect to a projection optics, including the imaging microoptics, an image sensor (D) positionable in the image plane (B) of the imaging microoptics, for measuring a position or an aerial image of the projection optics, and a wafer stage (WST) with an actuator and a controller (S) for positioning the wafer in dependence of an output signal of the image sensor (D).
(FR)La présente invention concerne une micro-optique d'imagerie, qui est compacte et robuste, en ce qu'elle comprend, par exemple, au moins un membre asphérique et en ce qu'elle a un trajet de faisceau replié et qui propose un grossissement |β' | de plus de 800 en amplitude. En outre, l'invention concerne un système destiné à positionner une tranche par rapport à une optique de projection, comprenant la micro-optique d'imagerie, un capteur d'image (D) positionnable dans le plan d'image (B) de la micro-optique d'imagerie, pour mesurer une position d'une image aérienne de l'optique de projection, et un étage de tranche (WST) avec un actionneur et un contrôleur (S) pour positionner la tranche en fonction d'un signal de sortie du capteur d'image (D).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)