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1. (WO2009033503) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN FILM COMPOSITE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/033503    N° de la demande internationale :    PCT/EP2007/059600
Date de publication : 19.03.2009 Date de dépôt international : 12.09.2007
CIB :
C23C 14/06 (2006.01), C23C 14/54 (2006.01), C23C 14/56 (2006.01)
Déposants : FLISOM AG [CH/CH]; Technoparkstrasse 1, CH-8005 Zürich (CH) (Tous Sauf US).
RUDMANN, Dominik [CH/CH]; (CH) (US Seulement).
KAELIN, Marc [CH/CH]; (CH) (US Seulement).
STUDER, Thomas [CH/CH]; (CH) (US Seulement).
BUDDE, Felix [DE/CH]; (CH) (US Seulement)
Inventeurs : RUDMANN, Dominik; (CH).
KAELIN, Marc; (CH).
STUDER, Thomas; (CH).
BUDDE, Felix; (CH)
Mandataire : RIGLING, Peter, D.; Troesch Scheidegger Werner AG, Schwäntenmos 14, CH-8126 Zumikon (CH)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) METHOD FOR MANUFACTURING A COMPOUND FILM
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN FILM COMPOSITE
Abrégé : front page image
(EN)A method for manufacturing a compound film comprising a substrate (1) and at least one additional layer is disclosed. The compound film satisfies predefined compound film properties, in particular predefined values for compound-film thickness, compound-film overall composition and compositional profile are given, the latter being defined as a compound-film composition as a function of a position on or in the compound film. The method comprising the steps of depositing at least two chemical elements (A, B, C) on the substrate (1) and/or on the at least one additional layer using depositions sources (12), maintaining depositing of the at least two chemical elements (A, B, C) while the substrate (1) and the deposition sources (12) are being moved relative to each other. The invention is characterized by the steps of measuring the compound film properties, particularly being compound film thickness, compound-film overall composition, and compound-film composition in one or several positions of the compound film, by comparing the predefined values for the compound film properties to the measured compound film properties, and by adjusting the deposition of the at least two chemical elements (A, B, C) in case the measure compound film properties do not match the predefined compound film properties.
(FR)L'invention concerne un procédé de fabrication d'un film composite comprenant un substrat (1) et au moins une couche supplémentaire. Le film composite satisfait à des propriétés de film composite prédéfinies, en particulier des valeurs prédéfinies d'épaisseur de film composite, une composition globale de film composite et un profil de composition sont donnés, ce dernier étant défini en tant que composition de film composite comme une fonction d'une position sur ou dans le film composite. Le procédé comprend les étapes consistant à déposer au moins deux éléments chimiques (A, B, C) sur le substrat (1) et/ou sur la ou les couches supplémentaires en utilisant des sources de dépôt (12), à maintenir le dépôt des deux éléments chimiques ou plus (A, B, C) tandis que le substrat (1) et les sources de dépôt (12) sont déplacés les uns par rapport aux autres. L'invention est caractérisée par les étapes consistant à mesurer les propriétés de film composite, en particulier l'épaisseur de film composite, la composition globale de film composite et la composition de film composite en une ou plusieurs positions du film composite, à comparer les valeurs prédéfinies des propriétés de film composite avec les propriétés de film composite mesurées, et à ajuster le dépôt des deux éléments chimiques ou plus (A, B, C) dans le cas où les propriétés de film composite mesurées ne concordent pas avec les propriétés de film composite prédéfinies.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)