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1. (WO2009032204) PROCÉDÉ ET APPAREIL PERMETTANT D'ÉTALONNER UN ROBOT AVEC UN DISPOSITIF D'ÉTALONNAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/032204    N° de la demande internationale :    PCT/US2008/010262
Date de publication : 12.03.2009 Date de dépôt international : 28.08.2008
CIB :
G01B 21/00 (2006.01), G01P 21/00 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; P.o. Box 450a, Santa Clara, CA 95052 (US) (Tous Sauf US).
SAKHARE, Vijay [US/US]; (US) (US Seulement).
KRISHNASAMY, Sekar [IN/US]; (US) (US Seulement).
LESKA, Mordechai [IL/US]; (US) (US Seulement).
FOLDENAUER, Donald [US/US]; (US) (US Seulement).
SHIMSHI, Rinat [IL/US]; (US) (US Seulement).
FREEMAN, Marvin, L. [US/US]; (US) (US Seulement).
HUDGENS, Jeffrey, C. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : SAKHARE, Vijay; (US).
KRISHNASAMY, Sekar; (US).
LESKA, Mordechai; (US).
FOLDENAUER, Donald; (US).
SHIMSHI, Rinat; (US).
FREEMAN, Marvin, L.; (US).
HUDGENS, Jeffrey, C.; (US)
Mandataire : VENCENT, Lester, J.; Blakely, Sokoloff, Taylor & Zafman Llp, 1279 Oakmead Parkway, Sunnyvale, CA 94085-4040 (US)
Données relatives à la priorité :
60/969,123 30.08.2007 US
12/198,076 25.08.2008 US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR ROBOT CALIBRATIONS WITH A CALIBRATING DEVICE
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL PERMETTANT D'ÉTALONNER UN ROBOT AVEC UN DISPOSITIF D'ÉTALONNAGE
Abrégé : front page image
(EN)Described herein is a method and apparatus for performing calibrations on robotic components. In one embodiment, a method for performing robotic calibrations includes moving the calibrating device across a target (e.g., a wafer chuck). Next, the method includes measuring distances between light spots from the sensors and a perimeter of the target using the sensors located on the calibrating device. Next, the method includes determining a displacement of the calibrating device relative to a center of the target. Then, the method includes determining a rotation angle of the calibrating device relative to a system of coordinates of the target. Next, the method includes calibrating a robot position of the robot based on the displacement and rotation angle of the calibrating device with respect to the target.
(FR)L'invention concerne un procédé et un appareil permettant de réaliser l'étalonnage de composants robotiques. Dans un mode de réalisation, un procédé permettant de réaliser l'étalonnage d'un robot comprend les étapes consistant à déplacer le dispositif d'étalonnage en travers d'une cible (par exemple, un support de tranche), mesurer la distance entre les points lumineux provenant des capteurs et le périmètre de la cible au moyen des capteurs situés sur le dispositif d'étalonnage, déterminer un déplacement du dispositif d'étalonnage par rapport au centre de la cible, déterminer un angle de rotation du dispositif d'étalonnage par rapport à un système de coordonnées de la cible, et étalonner une position du robot sur la base du déplacement et de l'angle de rotation du dispositif d'étalonnage par rapport à la cible.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)