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1. (WO2009032095) PROCÉDÉ ET APPAREIL PERMETTANT DE DIAGNOSTIQUER UN ÉTAT DE PIÈCES EN TEMPS RÉEL DANS UN ÉQUIPEMENT DE TRAITEMENT AU PLASMA
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/032095    N° de la demande internationale :    PCT/US2008/010070
Date de publication : 12.03.2009 Date de dépôt international : 26.08.2008
CIB :
H01L 21/3065 (2006.01), C23C 16/52 (2006.01), C23F 4/00 (2006.01)
Déposants : LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway, Fremont, California 94538 (US) (Tous Sauf US).
PATRICK, Roger [GB/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : PATRICK, Roger; (US)
Mandataire : SKIFF, Peter K.; Buchanan Ingersoll & Rooney Pc, Po Box 1404, Alexandria, Virginia 22313-1404 (US)
Données relatives à la priorité :
11/896,637 04.09.2007 US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR DIAGNOSING STATUS OF PARTS IN REAL TIME IN PLASMA PROCESSING EQUIPMENT
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL PERMETTANT DE DIAGNOSTIQUER UN ÉTAT DE PIÈCES EN TEMPS RÉEL DANS UN ÉQUIPEMENT DE TRAITEMENT AU PLASMA
Abrégé : front page image
(EN)Apparatus and methods for diagnosing status of a consumable part of a plasma reaction chamber, the consumable part including at least one conductive element embedded therein. The method includes the steps of: coupling the conductive element to a power supply so that a bias potential relative to the ground is applied to the conductive element; exposing the consumable part to plasma erosion until the conductive element draws a current from the plasma upon exposure of the conductive element to the plasma; measuring the current; and evaluating a degree of erosion of the consumable part due to the plasma based on the measured current.
(FR)L'invention porte sur des appareils et des procédés permettant de diagnostiquer un état d'une pièce consommable d'une chambre de réaction à plasma, la pièce consommable comprenant au moins un élément conducteur noyé à l'intérieur de celle-ci. Le procédé comprend les étapes consistant à : coupler l'élément conducteur à une alimentation de telle sorte qu'un potentiel de polarisation par rapport à la masse est appliqué à l'élément conducteur; exposer la pièce consommable à une érosion sous plasma jusqu'à ce que l'élément conducteur consomme un courant provenant du plasma lors de l'exposition de l'élément conducteur au plasma; mesurer le courant; et évaluer un degré d'érosion de la pièce consommable du fait du plasma en fonction du courant mesuré.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)