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1. (WO2009029532) THERMOCOUPLE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/029532    N° de la demande internationale :    PCT/US2008/074063
Date de publication : 05.03.2009 Date de dépôt international : 22.08.2008
CIB :
C23C 14/54 (2006.01), G01K 1/08 (2006.01), G01K 7/02 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01)
Déposants : ASM AMERICA, INC. [US/US]; 3440 East University Drive, Phoenix, Arizona 85034 (US) (Tous Sauf US).
HALPIN, Mike [US/US]; (US) (US Seulement).
GOODMAN, Matt [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : HALPIN, Mike; (US).
GOODMAN, Matt; (US)
Mandataire : BOYD, Damon L.; Snell & Wilmer L.L.P., One Arizona Center, 400 East Van Buren Street, Phoenix, Arizona 85004-2202 (US)
Données relatives à la priorité :
60/957,998 24.08.2007 US
12/193,924 19.08.2008 US
Titre (EN) THERMOCOUPLE
(FR) THERMOCOUPLE
Abrégé : front page image
(EN)A thermocouple for measuring temperature at a position adjacent to a substrate being processed in a chemical vapor deposition reactor is provided. The thermocouple includes a sheath having a measuring tip. The thermocouple also includes a support tube disposed within the sheath. The thermocouple further includes first and second wires supported by the support tube. The first and second wires are formed of different metals. A junction is formed between the first and second wires, wherein the junction is located adjacent to a distal end of the support tube. A spring is disposed about a portion of the support tube. The spring is compressed to exert a spring force on the support tube to bias the junction against the measuring tip to maintain the junction in continuous contact with the measuring tip. The spring force is small enough to prevent significant deformation of the junction as well as reducing variation of spring force or junction location from one thermocouple to another.
(FR)L'invention porte sur un thermocouple pour mesurer une température à une position jouxtant un substrat qui est traité dans un réacteur de dépôt chimique en phase vapeur. Le thermocouple comprend un manchon comportant une pointe de mesure. Il comprend également un tube de support disposé à l'intérieur du manchon. En outre, le thermocouple comprend des premier et deuxième fils supportés par le tube de support. Les premier et deuxième fils sont constitués par des métaux différents. Une jonction est formée entre les premier et deuxième fils, qui jouxte une extrémité distale du tube de support. Un ressort est disposé autour d'une partie du tube de support. Le ressort est comprimé de façon à exercer une force de ressort sur le tube de support afin de solliciter la jonction contre la pointe de mesure, de façon à maintenir la jonction en contact continu avec la pointe de mesure. La force de ressort, suffisamment faible, permet d'empêcher une déformation significative de la jonction, et de réduire la variation de la force de ressort ou de l'emplacement de la jonction d'un thermocouple à l'autre.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)